• "Critical Dimension" CD-Kalibrierstruktur
• Strukturgrößen: 10 µm - 5 µm 2 µm - 1 µm - 0,5 µm
• nicht zertifiziert
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Testobjekt mit 1 µm-Quadraten aus Gold
• Schachbrett im Schachbrett Muster auf einer Fläche von 5 mm x 5 mm
• Kleinstes Schachbrett 10 µm x 10 µm
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• unmontiert
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
• unmontiert
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• "Critical Dimension" CD-Kalibrierstruktur
• Strukturgrößen: 500 nm, 200 nm und 100 nm
• nicht zertifiziert
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
• Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
• unmontiert
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 9,87 µm ± 0,05 µm
• Trennlinien 1,9 µm breit, Markierungslinien im Abstand von 500 µm
• unmontiert
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 9,87 µm ± 0,05 µm
• Trennlinien 1,9 µm breit, Markierungslinien im Abstand von 500 µm
• Montiert auf Ø 12,5 mm Stiftprobenteller (Stiftlänge 8 mm)
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
• Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
• Mit Eichzertifikat der PTB Braunschweig
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Titanbeschichtetes Testobjekt auf Siliziumsubstrat
• Strukturgröße: 292 nm
• Bescheinigung: Kein Kalibrierschein
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Siliziumträger mit 144 Feldern 1 mm x 1 mm
• Muster ist sichtbar mit dem bloßem Auge, unter dem Stereomikroskop und im REM
• Kann im REM, FIB, XPS/ESCA, Auger und unter dem Lichtmikroskop (Auflicht) benutzt werden
• Verpackungseinheit: 1 Stück

Für die PLANOTEC-Silizium-Testobjekte S1932, S1933B bis S1933F und S1934

• "Critical Dimension" CD-Kalibrierstruktur
• Strukturgrößen: 10 µm - 5 µm 2 µm - 1 µm - 0,5 µm
• Bescheinigung: Kalibrierschein der PTB Braunschweig
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 7,9 mm)
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 9,5 mm x 9,5 mm
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 15 mm x 10 mm
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 6 mm)
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 15 mm x 6 mm mit M4-Gewinde
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 25 mm x 6 mm mit M4-Gewinde
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 25,4 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 9,5 mm)
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: 25 mm x 75 mm Glas-Objektträger
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenträger (Stift 6 mm)
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenträger (Stift 7,9 mm)
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 25,4 mm Stiftprobenträger (Stift 9,5 mm)
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 15 mm x 6 mm mit M4-Gewinde
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 25 mm x 6 mm mit M4-Gewinde
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 15 mm x 10 mm
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 9,5 mm x 9,5 mm
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: 25 mm x 75 mm Glas-Objektträger
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 10 mm x 10 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 9,87 µm ± 0,05 µm
• Trennlinien 1,9 µm breit, Markierungslinien im Abstand von 500 µm
• unmontiert
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 9,87 µm ± 0,05 µm
• Trennlinien 1,9 µm breit, Markierungslinien im Abstand von 500 µm
• Montiert auf ISI/ABT Probenteller 
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 9,87 µm ± 0,05 µm
• Trennlinien 1,9 µm breit, Markierungslinien im Abstand von 500 µm
• Montiert auf Ø 12,5 mm Stiftprobenteller /Stiftlänge 6 mm)
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 9,87 µm ± 0,05 µm
• Trennlinien 1,9 µm breit, Markierungslinien im Abstand von 500 µm
• Montiert auf HITACHI Probenteller 
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 9,87 µm ± 0,05 µm
• Trennlinien 1,9 µm breit, Markierungslinien im Abstand von 500 µm
• Montiert auf JEOL Probenteller Ø 12,5 mm 
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 9,87 µm ± 0,05 µm
• Trennlinien 1,9 µm breit, Markierungslinien im Abstand von 500 µm
• Montiert auf JEOL Probenteller Ø 10 mm 
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 9,87 µm ± 0,05 µm
• Trennlinien 1,9 µm breit, Markierungslinien im Abstand von 500 µm
• Montiert auf Lichtmikroskop Metall-Objektträger 25 mm x 75 mm
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Titanbeschichtetes Testobjekt auf Siliziumsubstrat
• Strukturgröße: 292 nm
• Bescheinigung: Kalibrierschein der PTB Braunschweig
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
• Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
• Montiert auf Ø 12,5 mm Stiftprobenteller (Stiftlänge 6 mm)
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
• Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
• Montiert auf Ø 12,5 mm Stiftprobenteller (Stiftlänge 8 mm)
• Verpackungseinheit: 1 Stück

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
• Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
• Montiert auf JEOL Probenträger Ø 10 mm
• Verpackungseinheit: 1 Stück