PLANOTEC - Si - Testobjekt mit 5 Mikrometer - pitch Gitter

Testobjekt aus einkristallinem Silizium. Außenmaße = 5 mm x 5 mm. Wie bei Art. - Nr. S1930 ff. handelt es sich um elektronenstrahlgeformte Quadrate, hier mit einer Periodizität von 5 µm +/- 0,05 µm ( Abbildung b ), d.h. die Seitenlänge der Quadrate beträgt ca. 4 µm und die Grabenbreite beträgt ca. 1 µm. Die Grabentiefe beträgt ca. 250 nm. Zu diesem Testobjekt ist ein Kalibrierschein der PTB erhältlich ( S2051 ). Jedes Testobjekt zeigt eine eindeutige Seriennummer ( siehe Abbildung a ).

a.) Lichtmikroskopische Übersicht

 

b.) Pitch ( einzelne Struktur )

 

c.) Ausschnitt (x) 104 µm x (y) 111 µm

 

 

Testobjekt aus einkristallinem Silizium. Außenmaße = 5 mm x 5 mm. Wie bei Art. - Nr. S1930 ff. handelt es sich um elektronenstrahlgeformte Quadrate, hier mit einer Periodizität von 5 µm +/- 0,05... mehr erfahren »
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PLANOTEC - Si - Testobjekt mit 5 Mikrometer - pitch Gitter

Testobjekt aus einkristallinem Silizium. Außenmaße = 5 mm x 5 mm. Wie bei Art. - Nr. S1930 ff. handelt es sich um elektronenstrahlgeformte Quadrate, hier mit einer Periodizität von 5 µm +/- 0,05 µm ( Abbildung b ), d.h. die Seitenlänge der Quadrate beträgt ca. 4 µm und die Grabenbreite beträgt ca. 1 µm. Die Grabentiefe beträgt ca. 250 nm. Zu diesem Testobjekt ist ein Kalibrierschein der PTB erhältlich ( S2051 ). Jedes Testobjekt zeigt eine eindeutige Seriennummer ( siehe Abbildung a ).

a.) Lichtmikroskopische Übersicht

 

b.) Pitch ( einzelne Struktur )

 

c.) Ausschnitt (x) 104 µm x (y) 111 µm

 

 

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