PLANOTEC - Si - Testobjekt mit 5 Mikrometer - pitch Gitter

Testobjekt aus einkristallinem Silizium. Außenmaße = 5 mm x 5 mm. Wie bei Art. - Nr. S1930 ff. handelt es sich um elektronenstrahlgeformte Quadrate, hier mit einer Periodizität von 5 µm +/- 0,05 µm ( Abbildung b ), d.h. die Seitenlänge der Quadrate beträgt ca. 4 µm und die Grabenbreite beträgt ca. 1 µm. Die Grabentiefe beträgt ca. 250 nm. Zu diesem Testobjekt ist ein Kalibrierschein der PTB erhältlich ( S2051 ). Jedes Testobjekt zeigt eine eindeutige Seriennummer ( siehe Abbildung a ).

a.) Lichtmikroskopische Übersicht

b.) Pitch ( einzelne Struktur )

c.) Ausschnitt (x) 104 µm x (y) 111 µm

Testobjekt aus einkristallinem Silizium. Außenmaße = 5 mm x 5 mm. Wie bei Art. - Nr. S1930 ff. handelt es sich um elektronenstrahlgeformte Quadrate, hier mit einer Periodizität von 5 µm +/- 0,05... mehr erfahren »
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PLANOTEC - Si - Testobjekt mit 5 Mikrometer - pitch Gitter

Testobjekt aus einkristallinem Silizium. Außenmaße = 5 mm x 5 mm. Wie bei Art. - Nr. S1930 ff. handelt es sich um elektronenstrahlgeformte Quadrate, hier mit einer Periodizität von 5 µm +/- 0,05 µm ( Abbildung b ), d.h. die Seitenlänge der Quadrate beträgt ca. 4 µm und die Grabenbreite beträgt ca. 1 µm. Die Grabentiefe beträgt ca. 250 nm. Zu diesem Testobjekt ist ein Kalibrierschein der PTB erhältlich ( S2051 ). Jedes Testobjekt zeigt eine eindeutige Seriennummer ( siehe Abbildung a ).

a.) Lichtmikroskopische Übersicht

b.) Pitch ( einzelne Struktur )

c.) Ausschnitt (x) 104 µm x (y) 111 µm

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PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter S2005
  • Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
  • Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
  • unmontiert
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
51,25 € *
PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter 1 Stück montiert auf G301F (6mm Stift) PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter 1 Stück montiert auf G301F (6mm Stift) S2006F
  • Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
  • Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
  • Montiert auf Ø 12,5 mm Stiftprobenteller (Stiftlänge 6 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
51,25 € *
PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter 1 Stück montiert auf G301 (8mm Stift) PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter 1 Stück montiert auf G301 (8mm Stift) S2006
  • Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
  • Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
  • Montiert auf Ø 12,5 mm Stiftprobenteller (Stiftlänge 8 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
51,25 € *
PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter 1 Stück montiert auf JEOL-Träger (10mm x 10mm) PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter 1 Stück montiert auf JEOL-Träger (10mm x 10mm) S2008
  • Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
  • Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
  • Montiert auf JEOL Probenträger Ø 10 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
51,25 € *
PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter 1 Stück montiert auf Hitachi-Träger (15mm x 6mm) PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter 1 Stück montiert auf Hitachi-Träger (15mm x 6mm) S2007
  • Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
  • Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
  • Montiert auf HITACHI Probenträger Ø 15 mm x 6 mm mit M4 Gewinde
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
51,25 € *
PLANOTEC Si-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter und Eichzertifikat der PTB PLANOTEC Si-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter und Eichzertifikat der PTB S2051
  • Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
  • Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
  • Mit Eichzertifikat der PTB Braunschweig
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
2.655,00 € *
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