Pelco Silizium - Finder Substrat - SFG12

Der MetroChip bietet für die Kalibrierung von REM, FIB, AFM, Lichtmikroskopie und Mess - Systemen eine Vielfalt an Strukturen auf einem einzelnen Substrat. Die Außenmaße des Chips sind 20 mm x 20 mm x 750 µm dick. Die Kalibriermaße reichen von 4 mm bis hinunter zu 100 nm. Sie befinden sich eingeätzt in einer polykristallinen Silikonschicht von 150 nm ± 10 %, die sich auf einer dünnen Siliziumoxidschicht ( ca. 2,5 nm – 3 nm ) befindet, die wiederum auf einem Siliziumsubstrat aufliegt. Da sich sehr viele Strukturen auf dem MetroChip befinden, fordern Sie Details gerne an, die wir Ihnen auf separatem Wege zukommen lassen.

Das innovative Pelcotec SFG12 Finder - Substrat ist ein flacher, leitfähiger Siliziumträger mit einer Größe von 12,5 mm x 12,5 mm. Er ist mit einem 1 mm x 1 mm - Raster versehen, welches 12 x 12 = 144 Felder ergibt. Jedes Feld besitzt eine individuelle, alphanumerische Kennzeichnung. Die Linien und Kennzeichnungen wurden mit Hilfe eines Präzisionslasers in die Siliziumoberfläche eingebracht. Es ist die beste Kombination zwischen einem flachen Substrat und einer REM Finder - Netzstruktur.

Dieses einzigartige Produkt hat Ähnlichkeiten mit einem gravierten REM - Probenhalter, besticht aber durch eine Vielzahl weiterer Vorteile:

• Flach – keine Höhendifferenzen
• Eine feine Struktur über eine große Fläche hinweg, die besser definiert ist, als bei    einem gravierten REM - Probenhalter
• Niedriges Hintergrundsignal – ebenso wie bei Siliziumchip - Substraten
• Für EDX Analysen nur ein Element ( Si )
• Praktisch und einfach zu navigieren – 1 mm Abstand mit 144 Feldern
• Muster ist sichtbar mit dem bloßem Auge, unter dem Stereomikroskop und im REM
• Zeigt bei sehr kleiner Vergrößerung eine ungefähre ( Proben - ) Größe
• Kann einfach auf die meisten gängigen REM - Probenträger aufgebracht werden
• Kann im REM, FIB, XPS / ESCA, Auger und unter dem Lichtmikroskop ( Auflicht ) benutzt werden

Spezifikationen des Silizium Substrates

• P Bor dotiert, <100> Orientierung,
• Widerstand:  0,5 - 35 Ohm/cm