CDMS Critical Dimensions and Magnification Standards

 

CDMS 

Die Pelcotec™ CDMS Critical Dimensions and Magnification Standards werden auf einem ultraflachen Siliziumsubstrat mit einer präzisen 50 nm Chromschicht für die Strukturen bis zu 5 µm und einer Kombination aus 50 nm Gold über 20 nm Chrom für die Strukturen von 2 µm bis 100 nm hergestellt. Die Cr- und die Au/Cr-Schicht auf Silizium bietet sowohl in der SE- als auch in der BSE-Abbildung einen ausgezeichneten Kontrast. Die Strukturen sind einfacher zu identifizieren als auf Standards mit geätztem Silizium. Da das Siliziumsubstrat, die Chrom- und die Chrom/Gold-Strukturen alle leitfähig sind, gibt es bei diesem Kalibrierstandard keine Aufladungsprobleme. Aufgrund seiner robusten Konstruktion kann der CDMS-Standard in einem Plasmareiniger gesäubert werden.

Die kleineren Strukturen sind zur einfachen Navigation und schnellen Kalibrierung verschachtelt. Die Genauigkeit der Strukturmaße liegt bei 0,3 % oder besser. Die tatsächliche Größe des Standards beträgt 2,5 mm x 2,5 mm und einer Dicke von 675 µm ±10 µm. Es gibt keine Beschichtung auf der Si-Oberfläche. Jeder Pelcotec™ CDMS-Kalibrierungsstandard hat eine eindeutige Identifikationsnummer.
Sie sind entweder unmontiert oder auf SEM-Haltern A-R montiert erhältlich. Für AFM-Anwendungen ist die Pelcotec™ CDMS auf einer 12 mm AFM-Scheibe montiert, für LM-Anwendungen auf einem 25 x 75 mm großen Glasträger.
Die Probe kann auch auf einer kundenspezifischen Halterung Ihrer Wahl präpariert werden.

Bewahren Sie den Pelcotec™ CDMS-Kalibrierstandard in einem Vakuum-Exsikkator wie z. B. dem PELCO-®-Vakuum-Exsikkator für Stiftprobenteller, Art.-Nr. 16179, auf.

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Die Pelcotec™ CDMS Critical Dimensions and Magnification Standards werden auf einem ultraflachen Siliziumsubstrat mit einer präzisen 50 nm Chromschicht für die Strukturen bis zu 5 µm und einer Kombination aus 50 nm Gold über 20 nm Chrom für die Strukturen von 2 µm bis 100 nm hergestellt. Die Cr- und die Au/Cr-Schicht auf Silizium bietet sowohl in der SE- als auch in der BSE-Abbildung einen ausgezeichneten Kontrast. Die Strukturen sind einfacher zu identifizieren als auf Standards mit geätztem Silizium. Da das Siliziumsubstrat, die Chrom- und die Chrom/Gold-Strukturen alle leitfähig sind, gibt es bei diesem Kalibrierstandard keine Aufladungsprobleme. Aufgrund seiner robusten Konstruktion kann der CDMS-Standard in einem Plasmareiniger gesäubert werden.

Die kleineren Strukturen sind zur einfachen Navigation und schnellen Kalibrierung verschachtelt. Die Genauigkeit der Strukturmaße liegt bei 0,3 % oder besser. Die tatsächliche Größe des Standards beträgt 2,5 mm x 2,5 mm und einer Dicke von 675 µm ±10 µm. Es gibt keine Beschichtung auf der Si-Oberfläche. Jeder Pelcotec™ CDMS-Kalibrierungsstandard hat eine eindeutige Identifikationsnummer.
Sie sind entweder unmontiert oder auf SEM-Haltern A-R montiert erhältlich. Für AFM-Anwendungen ist die Pelcotec™ CDMS auf einer 12 mm AFM-Scheibe montiert, für LM-Anwendungen auf einem 25 x 75 mm großen Glasträger.
Die Probe kann auch auf einer kundenspezifischen Halterung Ihrer Wahl präpariert werden.

Bewahren Sie den Pelcotec™ CDMS-Kalibrierstandard in einem Vakuum-Exsikkator wie z. B. dem PELCO-®-Vakuum-Exsikkator für Stiftprobenteller, Art.-Nr. 16179, auf.

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CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T unmontiert CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm... 682-1
individuell auf NIST-rückführbar mit Strukturen von 2 mm - 1 µm bei einer Vergrößerung von 10x - 20.000x (ideal für Desktop-SEM und Anwendungen mit niedriger bis mittlerer Vergrößerung) Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,1 mm, 50 µm,...
85,00 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T unmontiert CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm... 683-1
individuell auf NIST-rückführbar mit Strukturen von 2 mm - 100 nm bei einer Vergrößerung von 10 - 200.000x für SEM, FESEM, FIB und AFM Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,1 mm, 50 µm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
459,00 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T unmontiert CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm... 686-1
nach NIST zertifiziert mit Strukturen von 2 mm - 1 µm bei einer Vergrößerung von 10x - 20.000x (ideal für Desktop SEM und Anwendungen mit niedriger bis mittlerer Vergrößerung) Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,1 mm, 50 µm, 10 µm, 5...
689,00 € *
CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T unmontiert CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm... 687-1
nach NIST zertifiziert mit Strukturen von 2 mm - 100 nm bei einer Vergrößerung von 10x - 200.000x für SEM, FESEM & FIB Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,1 mm, 50 µm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
997,00 € *
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