CDMS Critical Dimensions and Magnification Standards

 

CDMS 

Die Pelcotec™ CDMS Critical Dimensions and Magnification Standards werden auf einem ultraflachen Siliziumsubstrat mit einer präzisen 50 nm Chromschicht für die Strukturen bis zu 5 µm und einer Kombination aus 50 nm Gold über 20 nm Chrom für die Strukturen von 2 µm bis 100 nm hergestellt. Die Cr- und die Au/Cr-Schicht auf Silizium bietet sowohl in der SE- als auch in der BSE-Abbildung einen ausgezeichneten Kontrast. Die Strukturen sind einfacher zu identifizieren als auf Standards mit geätztem Silizium. Da das Siliziumsubstrat, die Chrom- und die Chrom/Gold-Strukturen alle leitfähig sind, gibt es bei diesem Kalibrierstandard keine Aufladungsprobleme. Aufgrund seiner robusten Konstruktion kann der CDMS-Standard in einem Plasmareiniger gesäubert werden.

Die kleineren Strukturen sind zur einfachen Navigation und schnellen Kalibrierung verschachtelt. Die Genauigkeit der Strukturmaße liegt bei 0,3 % oder besser. Die tatsächliche Größe des Standards beträgt 2,5 mm x 2,5 mm und einer Dicke von 675 µm ±10 µm. Es gibt keine Beschichtung auf der Si-Oberfläche. Jeder Pelcotec™ CDMS-Kalibrierungsstandard hat eine eindeutige Identifikationsnummer.
Sie sind entweder unmontiert oder auf SEM-Haltern A-R montiert erhältlich. Für AFM-Anwendungen ist die Pelcotec™ CDMS auf einer 12 mm AFM-Scheibe montiert, für LM-Anwendungen auf einem 25 x 75 mm großen Glasträger.
Die Probe kann auch auf einer kundenspezifischen Halterung Ihrer Wahl präpariert werden.

Bewahren Sie den Pelcotec™ CDMS-Kalibrierstandard in einem Vakuum-Exsikkator wie z. B. dem PELCO-®-Vakuum-Exsikkator für Stiftprobenteller, Art.-Nr. 16179, auf.

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CDMS Critical Dimensions and Magnification Standards

 

CDMS 

Die Pelcotec™ CDMS Critical Dimensions and Magnification Standards werden auf einem ultraflachen Siliziumsubstrat mit einer präzisen 50 nm Chromschicht für die Strukturen bis zu 5 µm und einer Kombination aus 50 nm Gold über 20 nm Chrom für die Strukturen von 2 µm bis 100 nm hergestellt. Die Cr- und die Au/Cr-Schicht auf Silizium bietet sowohl in der SE- als auch in der BSE-Abbildung einen ausgezeichneten Kontrast. Die Strukturen sind einfacher zu identifizieren als auf Standards mit geätztem Silizium. Da das Siliziumsubstrat, die Chrom- und die Chrom/Gold-Strukturen alle leitfähig sind, gibt es bei diesem Kalibrierstandard keine Aufladungsprobleme. Aufgrund seiner robusten Konstruktion kann der CDMS-Standard in einem Plasmareiniger gesäubert werden.

Die kleineren Strukturen sind zur einfachen Navigation und schnellen Kalibrierung verschachtelt. Die Genauigkeit der Strukturmaße liegt bei 0,3 % oder besser. Die tatsächliche Größe des Standards beträgt 2,5 mm x 2,5 mm und einer Dicke von 675 µm ±10 µm. Es gibt keine Beschichtung auf der Si-Oberfläche. Jeder Pelcotec™ CDMS-Kalibrierungsstandard hat eine eindeutige Identifikationsnummer.
Sie sind entweder unmontiert oder auf SEM-Haltern A-R montiert erhältlich. Für AFM-Anwendungen ist die Pelcotec™ CDMS auf einer 12 mm AFM-Scheibe montiert, für LM-Anwendungen auf einem 25 x 75 mm großen Glasträger.
Die Probe kann auch auf einer kundenspezifischen Halterung Ihrer Wahl präpariert werden.

Bewahren Sie den Pelcotec™ CDMS-Kalibrierstandard in einem Vakuum-Exsikkator wie z. B. dem PELCO-®-Vakuum-Exsikkator für Stiftprobenteller, Art.-Nr. 16179, auf.

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CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 683-1
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar aus NIST
  • unmontiert
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T A CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T A 683-1A
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenteller (Stift 7,9 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T B CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T B 683-1B
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenteller (Stiftlänge 14,3 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T C CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T C 683-1C
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger:  Ø 9,5 mm x 9,5 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T D CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T D 683-1D
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 15 mm x 15 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T E CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T E 683-1E
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar aus NIST
  • Probenträger: Ø 15 mm x 10 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T F CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T F 683-1F
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger:  Ø 12,7 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 6 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T G (vom Kunden gestellter Probenträger) CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T G (vom Kunden gestellter Probenträger) 683-1G
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: vom Kunden gestellt
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 665,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T K CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T K 683-1K
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger:  Ø 15 mm x 6 mm mit M4-Gewinde
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T L CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T L 683-01L
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger:  Ø 25 mm x 6 mm mit M4 Gewinde
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 625,54 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T M CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T M 683-1M
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückrührbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 12,2 mm x 10 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T O CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T O 683-1O
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 31,7 mm x 6,47 mm Cambridge S4 Probenteller
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T P CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T P 683-1P
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 12,7 Stiftprobenträger (Siftlänge 15,7 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T Q CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T Q 683-1Q
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 25 mm x 10 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T R CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T R 683-1R
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 25,4 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 9,5 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T 12mm AFM Scheibe CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T 12mm AFM Scheibe 683-1AFM
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 12 mm AFM-Scheibe
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T 25 x 75 mm Glas-Objektträger CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T 25 x 75 mm Glas-Objektträger 683-1S
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: 25 mm x 75 mm Glas-Objektträger
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 539,70 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 682-1
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: auf NIST rückführbar
  • unmontiert
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 112,00 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T A CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T A 682-1A
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 12,7 Stiftprobenträger (Stiftlänge 7,9 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T B CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T B 682-1B
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 12,7 Stiftprobenträger (Stiftlänge 14,3 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T C CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T C 682-1C
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 9,5 mm x 9,5 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T D CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T D 682-1D
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 15 mm  x 15 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T E CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T E 682-1E
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger:  Ø 15 mm x 10 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T F CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T F 682-1F
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 6 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T G (vom Kunden gestellter Probenträger) CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T G (vom Kunden gestellter Probenträger) 682-1G
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: vom Kunden gestellt
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 238,00 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T K CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T K 682-1K
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 15 mm x 6 mm mit M4 Gewinde
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T L CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T L 682-1L
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger:  Ø 25 mm x 6 mm mit M4 Gewinde
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T M CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T M 682-1M
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: Ø 12,2 mm x 10 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T O CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T O 682-1O
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger: 31,7 mm x 6,47 mm Cambridge S4 Mount
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T P CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T P 682-1P
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger:  Ø 12,7 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 15,7 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T Q CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T Q 682-1Q
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger:  Ø 25 mm x 10 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T R CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T R 682-1R
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger:   Ø 25,4 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 9,5 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T 12mm AFM Scheibe CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T 12mm AFM Scheibe 682-1AFM
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Besc heinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger:  Ø 12 mm AFM-Scheibe
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T 25 x 75 mm Glas-Objektträger CDMS-1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T 25 x 75 mm Glas-Objektträger 682-1S
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm und 1 µm
  • Bescheinigung: rückführbar auf NIST
  • Probenträger:  25 mm x 75 mm Glas-Objektträger
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 111,30 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 686-1
  • Strukturgrößen:  2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • unmontiert
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 867,65 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T A CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T A 686-1A
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 12,7 Stiftprobenträger (Stiftlänge 7,9 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 941,85 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T B CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T B 686-1B
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 14,3 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 833,70 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T C CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T C 686-1C
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 9,5 mm x 9,5 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 833,70 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T D CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T D 686-1D
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 15 mm  x 15 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 833,70 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T E CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T E 686-1E
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 15 mm x 10 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 833,70 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T F CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T F 686-1F
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 6 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 941,85 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T G (vom Kunden gestellter Probenträger) CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T G (vom Kunden gestellter Probenträger) 686-1G
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: vom Kunden gestellt
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 959,70 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T K CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T K 686-1K
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 15 mm x 6 mm mit M4 Gewinde
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 941,85 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T L CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T L 686-1L
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 25 mm x 6 mm mit M4 Gewinde
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 833,70 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T M CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T M 686-1M
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 12,2 mm x 10 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 833,70 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T O CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T O 686-1O
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 31,7 mm x 6,47 mm Cambridge S4 Mount
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 833,70 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T P CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T P 686-1P
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger:  Ø 12,7 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 15,7 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 833,70 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T Q CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T Q 686-1Q
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 25 mm x 10 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 833,70 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T R CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T R 686-1R
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 25,4 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 9,5 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 833,70 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T 12mm AFM Scheibe CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T 12mm AFM Scheibe 686-1AFM
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 12 mm AFM-Scheibe
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 833,70 € *
CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T 25 x 75 mm Glas-Objektträger CDMS-1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 1 µm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T 25 x 75 mm Glas-Objektträger 686-1S
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: 25 mm x 75 mm Glas-Objektträger
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 833,70 € *
CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 687-1
  • Strukturgrößen:  2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • unmontiert
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 1.169,70 € *
CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T A CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T A 687-1A
  • Strukturgrößen:  2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenteller (Stift 7,9 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 1.183,70 € *
CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T B CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T B 687-1B
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenteller (Stiftlänge 14,3 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 1.183,70 € *
CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T C CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T C 687-1C
  • Strukturgrößen:  2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 9,5 mm x 9,5 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 1.200,50 € *
CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T D CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T D 687-1D
  • Strukturgrößen:  2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 15 mm x 15 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 1.183,70 € *
CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T E CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T E 687-1E
  • Strukturgrößen:  2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 15 mm x 10 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 1.183,70 € *
CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T F CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T F 687-1F
  • Strukturgrößen:  2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 6 mm)
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 1.183,70 € *
CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T G (vom Kunden gestellter Probenträger) CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T G (vom Kunden gestellter Probenträger) 687-1G
  • Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: auf vom Kunden gestellten Probenträger 
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 1.244,00 € *
CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T K CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T K 687-1K
  • Strukturgrößen:  2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
  • Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
  • Probenträger: Ø 15 mm x 6 mm mit M4-Gewinde
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
ab 1.183,70 € *
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