PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter montiert auf Ø 12,5 mm Stiftprobenteller G301, 5 x 5 mm
Institut für Mikroelektronik
51,25 €
Produktnummer:
S2006
Produktinformationen "PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter montiert auf Ø 12,5 mm Stiftprobenteller G301, 5 x 5 mm"
Testobjekt aus einkristallinem Silizium. Außenmaße 5 mm x 5 mm. Wie bei Art.-Nr. S1930 ff. handelt es sich um elektronenstrahlgeformte Quadrate, hier mit einer Periodizität von 5 µm +/- 0,05 µm (Abbildung b), d.h. die Seitenlänge der Quadrate beträgt ca. 4 µm und die Grabenbreite beträgt ca. 1 µm. Die Grabentiefe beträgt ca. 250 nm. Jedes Testobjekt zeigt eine eindeutige Seriennummer. Die Artikelnummer S2051 beinhaltet 1 Testobjekt mit PTB-Kalibrierschein.
- Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
- Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
- montiert auf Ø 12,5 mm Stiftprobenteller (Stiftlänge 8 mm)
- Verpackungseinheit: 1 Stück