MRS - 4.2 ( bis x200.000 )

Dieses ist dem zuvor beschriebenen MRS - 3 sehr ähnlich. Für große Vergrößerungen sind zusätzlich Strukturen mit 1 µm und 0,5 µm vorhanden. Mit zwei 6 mm Maßstäben mit 1 µm Unterteilung lassen sich auch große Strukturen kalibrieren. Die zusätzlichen Strukturen mit 1 µm und 0,5 µm Periodizitäten ( pitch ) ermöglichen Kalibrierungen bis x200.000.