PLANOTEC Si-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter und Eichzertifikat der PTB

Testobjekt aus einkristallinem Silizium. Außenmaße = 5 mm x 5 mm. Wie bei Art.-Nr. S1930 ff. handelt es sich um elektronenstrahlgeformte Quadrate, hier mit einer Periodizität von 5 µm +/- 0,05 µm (Abbildung b), d.h. die Seitenlänge der Quadrate beträgt ca. 4 µm und die Grabenbreite beträgt ca. 1 µm. Die Grabentiefe beträgt ca. 250 nm. Das Testobjekt zeigt eine eindeutige Seriennummer.

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
• Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
• Mit Eichzertifikat der PTB Braunschweig
• Verpackungseinheit: 1 Stück