PLANOTEC Kalibrierstrukturen 500 nm - 200 nm - 100 nm (nicht zertifiziert)

Die PLANOTEC Kalibrierstruktur hat einen der CD-Kalibrierstruktur entsprechenden Aufbau. Im Zentrum des leicht zu identifizierbaren Zielkreuzes befinden sich Gruppen von je 5 erhabenen Linien mit einem „pitch”-Maß (Periodizität) von 500 nm - 200 nm - 100 nm. Bei der 100 nm-Struktur kann es vorkommen, dass eine der 5 Linien nicht geschrieben wurde. Dies ist aber leicht erkennbar und macht das Testobjekt deswegen nicht unbrauchbar. Die Höhe der Linien beträgt ca. 45 nm - 50 nm. Dieses Testobjekt ist leider nicht mehr PTB-zertifiziert erhältlich.

• "Critical Dimension" CD-Kalibrierstruktur
• Strukturgrößen: 500 nm, 200 nm und 100 nm
• nicht zertifiziert
• Verpackungseinheit: 1 Stück