Es handelt sich hierbei um eine weiterentwickelte Probe zur Durchführung aller notwendigen Tests bei der Prüfung von REM/EDX-Systemen im Einsatzbereich der automatisierten Partikelanalyse.Diese Testprobe ist insbesondere hilfreich bei der Überprüfung und Einstellung diverser REM/EDX-Kombinationen und REM-Bildaufnahmesysteme wie z.B.: Bruker Partikel Analyse Software Esprit Feature oder GSR Professional; Oxford AZtec / Inca Feature; EDAX Genesis, Aspex Perception; Thermo Fisher ParticleMetric oder Perception; Jeol Particle Analysis; Hitachi 3 D oder 2D Particle Analysis; Thermo Fisher Maps™; Zeiss Microscopy Atlas™; TESCAN Essence™ / TESCAN Image Snapper™ ... und weitere.   Mit einem speziellen patentrechtlich geschützten Verfahren werden auf die Oberfläche eines 8 x 8 mm2 großen Glas-Kohlenstoff-Chips Partikel aufgebracht, die die chemischen Elemente Blei, Antimon und Barium (Pb/Sb/Ba) enthalten. Dabei bleibt die Zusammensetzung aller Strukturen und Partikel nahezu gleich. Die verschiedenen Areale des Chips werden für unterschiedliche Tests, Evaluierungen und Einstellungen benötigt. Neben der bereits aus der Planotec-A Probe (siehe auch Art.-Nr. S1957) bekannten Struktur der Partikelgrößenvariations-Punktmustermatrix (5), sind hier zusätzlich weitere Strukturen auf dem Chip zu finden (1 - 4): Kreuzlinienstrukturen mit 500 µm langen Linien, unterteilt mit 50µm-Zwischenmarkern und Nummernbeschriftungen (im Uhrzeigersinn angeordnet). Verwendung: Längenmessung in x- und y-Ausrichtung im Bild / Erkennung von Scanrichtungsfehlern sekundärer Scan-Generatoren / Bild- zu Tischjustierungstests / Einstellungen zur Hysterese-Korrektur 0,8µm-Punktmuster (ca. 6000 Punkte, 20 µm äquidistant, Fläche 2,4 x 1,0 mm2)Verwendung: Hysterese-Tests bei externen Partikelanalysesystemen, Bildauflösungstest (Verzerrungsfreiheit) bei niedriger Mikroskop-Vergrößerung aber hoher Pixelauflösung Gittermuster mit Dreifachlinien unterschiedlicher Gitterweite.Verwendung: Orthogonalitäts-Test des Mikroskop-Bildes bei verschiedenen Vergrößerungen, diverse Justagen und Einstellungen sind hier möglich 7000µm-LanglinieVerwendung: Langlinienmessung fürTischkalibrierungstests und Tests auf mechanische Tischdefekte Partikelgrößenvariations-Punktmustermatrix (Planotec-A Struktur)Verwendung: Bestimmung der Detektionsempfindlichkeit. Die Struktur weist synthetische Partikel auf, die zeilenartig angeordnet sind. Jede Zeile besteht aus 20 Partikeln, die in jeweils 150 µm Abstand zueinander eine äquidistante Matrix ergeben. Die entsprechende Partikelgröße ist jeweils am Zeilenbeginn angegeben, Größen: 2,0 / 1,8 / 1,6 / 1,5 / 1,4 / 1,3 / 1,2 / 1,1 / 1,0 / 0,9 / 0,8 / 0,7 / 0,6 / 0,5 / 0,4 µm Durchmesser.Jeder Partikel besteht aus PbO, Sb2O3, BaF2 Folgende Forderungen bestehen an ein automatisiertes Partikelanalysesystem, deren Erfüllung mittels dieser Probe einfacher überprüft werden kann, als mit der Planotec-A Probe: Bildkalibrierung / Tischkalibrierung: Vollständiges Absuchen der Probe (keine nicht untersuchten Zwischenräume). Geringe oder keine Feldüberlappungen (Mehrfachdetektionen möglich). Keine Felddrehungen (Bildkoordinatensystem nicht zu Tischkoordinatensystem ausgerichtet) Keine Flightback-Korrekturfehler (Partikel wird bei verschiedenen Scangeschwindigkeiten nicht wiedergefunden) Keine mechanischen Backlash-Fehler (Absolut-Fehler der gespeicherten Tischkoordinaten) EDX / Partikelklassifizierung. Genaue Strahlpositionierung während der EDX-Messung. Ausreichende Spektren-Qualität / Auto-ID Funktion. Qualität des Quantifizierungsergebnisses. Richtige Klassifizierungszuordnung

Ein Elektronenmikroskop, das mit einem Rückstreuelektronen-Detektor ausgestattet ist, hat die Möglichkeit der Erzeugung von Bildern, auf welchen der Kontrast durch den Unterschied der Atomordnungszahl der Probe bestimmt ist. Zur Überprüfung des Atomordnungszahlkontrastes stehen jetzt drei Testobjekte zur Verfügung. Jedes davon besteht aus zwei hochreinen Elementen mit einem Unterschied der Atomordnungszahl von Z = 1. Das Element mit der niedrigeren Atomordnungszahl ist in Form eines Drahtes in das Element mit der höheren Atomordnungszahl eingefügt. Diese Testobjekte sind einzeln gefasst in Hülsen von 3 mm oder 5 mm Durchmesser erhältlich oder als Teil eines Vielfachhalters.

Messinghalter in Scheibenform, einschließlich 5 angegebenen Elementen / Verbindungen.

Einbau eines Faradaykäfig in Mikroanalyse-Halter

Dieses ist dem zuvor beschriebenen MRS-3 sehr ähnlich. Für große Vergrößerungen sind zusätzlich Strukturen mit 1 µm und 0,5 µm vorhanden. Mit zwei 6 mm Maßstäben mit 1 µm Unterteilung lassen sich auch große Strukturen kalibrieren. Die zusätzlichen Strukturen mit 1 µm und 0,5 µm Periodizitäten (pitch) ermöglichen Kalibrierungen bis x200.000.

Die Raster bestehen aus einer dünnen Chromschicht, die eine sehr gute Kantendefinition bietet. Diese ca. 15 nm Chromschicht erbringt zwar ein niedrigeres Sekundärelektronen- und Rückstreuelektronen-Signal, aber das Bild z. B. der 80 nm-Struktur ist trotzdem sehr gut. Das MRS-6-Testobjekt ist für Instrumentenkalibrierung zwischen x1.500 und x1.000.000 geeignet und wird für Anwendungen im REM, TEM (mit einer Spezialgröße des Standards von 2 mm x 2 mm), STM, AFM und für lichtoptische Auflichtmikroskopie genutzt. Der Standard hat eine Gesamtgröße von etwa 3,2 mm x 3,2 mm x 0,5 mm und ist vollständig elektrisch leitfähig. Auf dem Chip befinden sich verschiedene Strukturen von 3 µm bis 80 nm - pitch (Periodizität) für Auflösungskalibrierungen und für die Linearitätsprüfung zeigt er eine Struktur mit einer Periodizität von 1 µm² über ein Feld von 40 x 40 µm. Eine ½ µm - quadratische Teststruktur mit 1 µm pitch hilft bei der Prüfung und Korrektur von Verzeichnungen, Vibrationen und magnetischen Feldern. Weitere Details auf Nachfrage.