Planotec-B Testprobe für REM/EDX-Systeme bei automatisierter Partikelanalyse

Es handelt sich hierbei um eine weiterentwickelte Probe zur Durchführung aller notwendigen Tests bei der Prüfung von REM/EDX-Systemen im Einsatzbereich der automatisierten Partikelanalyse.

Diese Testprobe ist insbesondere hilfreich bei der Überprüfung und Einstellung diverser REM/EDX-Kombinationen und REM-Bildaufnahmesysteme wie z.B.:

Bruker Partikel Analyse Software Esprit Feature oder GSR Professional;
Oxford AZtec / Inca Feature;
EDAX Genesis, Aspex Perception;
Thermo Fisher ParticleMetric oder Perception; Jeol Particle Analysis;
Hitachi 3 D oder 2D Particle Analysis;
Thermo Fisher Maps™;
Zeiss Microscopy Atlas™;
TESCAN Essence™ / TESCAN Image Snapper™ ... und weitere.

Mit einem speziellen patentrechtlich geschützten Verfahren werden auf die Oberfläche eines 8 x 8 mm² großen Glas-Kohlenstoff-Chips Partikel aufgebracht, die die chemischen Elemente Blei, Antimon und Barium (Pb/Sb/Ba) enthalten. Dabei bleibt die Zusammensetzung aller Strukturen und Partikel nahezu gleich.
Die verschiedenen Areale des Chips werden für unterschiedliche Tests, Evaluierungen und Einstellungen benötigt. 
Neben der bereits aus der Planotec-A Probe (siehe auch Art.-Nr. S1957) bekannten Struktur der Partikelgrößenvariations-Punktmustermatrix (5), sind hier zusätzlich weitere Strukturen auf dem Chip zu finden (1 - 4):

1. Kreuzlinienstrukturen mit 500 µm langen Linien, unterteilt mit 50µm-Zwischenmarkern und Nummernbeschriftungen (im Uhrzeigersinn angeordnet).
   Verwendung: Längenmessung in x- und y-Ausrichtung im Bild / Erkennung von Scanrichtungsfehlern sekundärer Scan-Generatoren / Bild- zu Tischjustierungstests / Einstellungen zur Hysterese-Korrektur

2. 0,8µm-Punktmuster (ca. 6000 Punkte, 20 µm äquidistant, Fläche 2,4 x 1,0 mm²)
   Verwendung: Hysterese-Tests bei externen Partikelanalysesystemen, Bildauflösungstest (Verzerrungsfreiheit) bei niedriger Mikroskop-Vergrößerung aber hoher Pixelauflösung

3. Gittermuster mit Dreifachlinien unterschiedlicher Gitterweite.
   Verwendung: Orthogonalitäts-Test des Mikroskop-Bildes bei verschiedenen Vergrößerungen, diverse Justagen und Einstellungen sind hier möglich

4. 7000µm-Langlinie
   Verwendung: Langlinienmessung fürTischkalibrierungstests und Tests auf mechanische Tischdefekte

5. Partikelgrößenvariations-Punktmustermatrix (Planotec-A Struktur)
   Verwendung: Bestimmung der Detektionsempfindlichkeit. Die Struktur weist synthetische Partikel auf, die zeilenartig angeordnet sind. Jede Zeile besteht aus 20 Partikeln, die in jeweils 150 µm Abstand zueinander eine äquidistante Matrix ergeben. Die entsprechende Partikelgröße ist jeweils am Zeilenbeginn angegeben, Größen: 2,0 / 1,8 / 1,6 / 1,5 / 1,4 / 1,3 / 1,2 / 1,1 / 1,0 / 0,9 / 0,8 / 0,7 / 0,6 / 0,5 / 0,4 µm Durchmesser.
   Jeder Partikel besteht aus PbO, Sb₂O₃, BaF₂

Folgende Forderungen bestehen an ein automatisiertes Partikelanalysesystem, deren Erfüllung mittels dieser Probe einfacher überprüft werden kann, als mit der Planotec-A Probe:

• Bildkalibrierung / Tischkalibrierung: Vollständiges Absuchen der Probe (keine nicht untersuchten Zwischenräume). Geringe oder keine Feldüberlappungen (Mehrfachdetektionen möglich). Keine Felddrehungen (Bildkoordinatensystem nicht zu Tischkoordinatensystem ausgerichtet)

• Keine Flightback-Korrekturfehler (Partikel wird bei verschiedenen Scangeschwindigkeiten nicht wiedergefunden)

• Keine mechanischen Backlash-Fehler (Absolut-Fehler der gespeicherten Tischkoordinaten)

• EDX / Partikelklassifizierung. Genaue Strahlpositionierung während der EDX-Messung. Ausreichende Spektren-Qualität / Auto-ID Funktion. Qualität des Quantifizierungsergebnisses. Richtige Klassifizierungszuordnung