MRS-4.2 XYZ - Geller-Referenz-Standard

Dieses ist dem zuvor beschriebenen MRS-3 sehr ähnlich. Für große Vergrößerungen sind zusätzlich Strukturen mit 1 µm und 0,5 µm vorhanden. Mit zwei 6 mm Maßstäben mit 1 µm Unterteilung lassen sich auch große Strukturen kalibrieren. Die zusätzlichen Strukturen mit 1 µm und 0,5 µm Periodizitäten (pitch) ermöglichen Kalibrierungen bis x200.000.