- Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
- Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
- unmontiert
- Verpackungseinheit: 1 Stück
- Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
- Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
- Mit Eichzertifikat der PTB Braunschweig
- Verpackungseinheit: 1 Stück
- Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
- Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
- Montiert auf Ø 12,5 mm Stiftprobenteller (Stiftlänge 6 mm)
- Verpackungseinheit: 1 Stück
- Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
- Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
- Montiert auf Ø 12,5 mm Stiftprobenteller (Stiftlänge 8 mm)
- Verpackungseinheit: 1 Stück
- Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
- Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
- Montiert auf JEOL Probenträger Ø 10 mm
- Verpackungseinheit: 1 Stück
- Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
- Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
- Montiert auf HITACHI Probenträger Ø 15 mm x 6 mm mit M4 Gewinde
- Verpackungseinheit: 1 Stück