3-D Test-Raster TG3D 3000/600, Säulen (unmontiert)

• 2-D Feld mit 3-D Rechtecksäulen in der obersten Schicht
• Säulenhöhe ca. 0,3 µm - 0,6 µm
• Obere 2-D-Säulenabmessung ca. 1,2 µm x 1,2 µm,
  nach unten hin scharf abgesetzte Kanten
• Eckenradius kleiner/gleich 10 nm
• Periode (pitch) ca. 3 µm +/- 0,05 µm
• Si-Chip-Größe 5 mm x 5mm x 0,5 mm
• zentrales Säulenfeld ca. 3 mm x 3 mm
• Alle Maßangaben sind unkalibriert
  

Das TG3D-3000/600-Raster mit seinem 3-dimensionalen Muster ist für die laterale Kalibrierung des SPM-Scanners, der Erkennung der lateralen Linearitätsabweichung, Hysterese, Kreuz-Kopplungseffekte und Bestimmung der Seitenverhältnisse der Spitze bestimmt. Silizium-Chip mit schachbrettartigem Raster, bestehend aus quadratischen Säulen mit scharfen, unterschnittenen Kanten. Die Höhe beträgt 0,3 - 0,6 µm, die Plateau-Oberfläche beträgt 1,2 µm x 1,2 µm, der Kantenradius ? 10 nm. Die Periodizität beträgt 3 µm ± 0,05 µm. Das Raster befindet sich auf dem 5 mm x 5 mm Si-Chip in der Mitte über einen Bereich von 3 mm x 3 mm.