Test-Raster TG3D-3000/600 3-Dimensional für seitliche Kalibrierung, Säulen, unmontiert
Ted Pella Inc.
Produktinformationen "Test-Raster TG3D-3000/600 3-Dimensional für seitliche Kalibrierung, Säulen, unmontiert"
Das TG3D-3000/600-Raster mit seinem 3-dimensionalen Muster ist für die laterale Kalibrierung des SPM-Scanners, der Erkennung der lateralen Linearitätsabweichung, Hysterese, Kreuz-Kopplungseffekte und Bestimmung der Seitenverhältnisse der Spitze bestimmt. Silizium-Chip mit schachbrettartigem Raster, bestehend aus quadratischen Säulen mit scharfen, unterschnittenen Kanten. Die Höhe beträgt 0,3 - 0,6 µm, die Plateau-Oberfläche beträgt 1,2 µm x 1,2 µm, der Kantenradius ≤ 10 nm. Die Periodizität beträgt 3 µm ± 0,05 µm. Das Raster befindet sich auf dem 5 mm x 5 mm Si-Chip in der Mitte über einen Bereich von 3 mm x 3 mm.
- 2-D Feld mit 3-D Rechtecksäulen in der obersten Schicht
- Säulenhöhe ca. 0,3 µm - 0,6 µm
- Obere 2-D-Säulenabmessung ca. 1,2 µm x 1,2 µm,
nach unten hin scharf abgesetzte Kanten - Eckenradius ≤ 10 nm
- Periode (pitch) ca. 3 µm +/- 0,05 µm
- Si-Chip-Größe 5 mm x 5mm x 0,5 mm
- zentrales Säulenfeld ca. 3 mm x 3 mm
- Alle Maßangaben sind unkalibriert
- Nicht auf einem Träger montiert
- Verpackungseinheit: 1 Stück
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- Verpackungseinheit: 1 Stück
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- Verpackungseinheit: 1 Stück
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- Montiert auf einer 12 mm Durchmesser AFM-Scheibe / Verpackungseinheit: 1 Stück
Produktnummer: 629-50AFM