Dieses ist dem zuvor beschriebenen MRS-3 sehr ähnlich. Für große Vergrößerungen sind zusätzlich Strukturen mit 1 µm und 0,5 µm vorhanden. Mit zwei 6 mm Maßstäben mit 1 µm Unterteilung lassen sich auch große Strukturen kalibrieren. Die zusätzlichen Strukturen mit 1 µm und 0,5 µm Periodizitäten (pitch) ermöglichen Kalibrierungen bis x200.000.

Die Raster bestehen aus einer dünnen Chromschicht, die eine sehr gute Kantendefinition bietet. Diese ca. 15 nm Chromschicht erbringt zwar ein niedrigeres Sekundärelektronen- und Rückstreuelektronen-Signal, aber das Bild z. B. der 80 nm-Struktur ist trotzdem sehr gut. Das MRS-6-Testobjekt ist für Instrumentenkalibrierung zwischen x1.500 und x1.000.000 geeignet und wird für Anwendungen im REM, TEM (mit einer Spezialgröße des Standards von 2 mm x 2 mm), STM, AFM und für lichtoptische Auflichtmikroskopie genutzt. Der Standard hat eine Gesamtgröße von etwa 3,2 mm x 3,2 mm x 0,5 mm und ist vollständig elektrisch leitfähig. Auf dem Chip befinden sich verschiedene Strukturen von 3 µm bis 80 nm - pitch (Periodizität) für Auflösungskalibrierungen und für die Linearitätsprüfung zeigt er eine Struktur mit einer Periodizität von 1 µm² über ein Feld von 40 x 40 µm. Eine ½ µm - quadratische Teststruktur mit 1 µm pitch hilft bei der Prüfung und Korrektur von Verzeichnungen, Vibrationen und magnetischen Feldern. Weitere Details auf Nachfrage.