Beugungsstandards

Der nominelle Wert der effektiven Kameralänge eines Elektronenmikroskops, das in der Betriebsart Feinbereichsbeugung arbeitet, ist für Berechnungen der Gitterabstände nicht genau genug. Der wirkliche Wert der Kameralänge muss unter Bezug auf eine bekannte Substanz mit gut definierten Beugungsmuster-Abständen bei konstanter Beschleunigungsspannung und Objektivlinseneinstellung geeicht werden. Übliche Testobjekte hierfür sind aufgedampfte Aluminium- oder Thalliumchlorid-Schichten. Die sehr kleinen Kristalliten ergeben für die Eichung geeignete Ringmuster. Jedes Eichobjekt wird mit einer Liste der wesentlichen Gitterebenenabstände geliefert.