Auflösungstestobjekt - Zinn auf Kohle (10 nm - 100 nm)

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  • S1967
Ein alternatives Testobjekt für die Bewertung mit mittlerer Auflösung und für die tägliche... mehr
Produktinformationen "Auflösungstestobjekt - Zinn auf Kohle (10 nm - 100 nm)"

Ein alternatives Testobjekt für die Bewertung mit mittlerer Auflösung und für die tägliche visuelle Überprüfung der Geräteleistung ist ein Zinn-auf-Kohlenstoff-Testobjekt. Diese besteht aus einer Dispersion von Zinnkugeln im Größenbereich von 10 - 100 nm auf einem Kohlenstoffsubstrat. Es ist ideal für die Astigmatismuskorrektur geeignet und wird auch für REMs in der Halbleiterindustrie empfohlen, bei denen die übliche Probe aus Gold auf Kohlenstoff aufgrund des Risikos einer Goldvergiftung nicht verwendet werden kann.

S1967

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