Referenz-Standard für AFM (145 nm Pitch)

Referenz-Standard für AFM (145 nm Pitch)
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Die Aluminium-Linien auf einem Glassubstrat (4 mm x 6 mm) mit periodischen Strukturen von... mehr
Produktinformationen "Referenz-Standard für AFM (145 nm Pitch)"

Die Aluminium-Linien auf einem Glassubstrat (4 mm x 6 mm) mit periodischen Strukturen von nominal 145 nm wurden mit holographischen Methoden hergestellt. Die genauen Maße liegen jedem Testobjekt bei. Die Linien-Höhe beträgt ca. 100 nm, die Linienbreite beträgt ca. 75 nm (beide Maße sind nicht kalibriert). Der Bereich mit dem Muster bedeckt den gesamten Standard und erlaubt somit sehr viele Messungen, ohne dass ein Bereich wiederholt verwendet werden muss, der durch eine Messung evtl. beschädigt wurde. Die Genauigkeit der Maße beträgt ± 1 nm. Wird für AFM benötigt und ist für Kontakt-, Tapping- und weitere AFM-Methoden anwendbar, bei Bildgrößen von 250 nm bis 10 µm.

642-1

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