3-D Test-Raster TG3D-3000/20 Quadrate (unmontiert)

3-D Test-Raster TG3D-3000/20 Quadrate (unmontiert)
597,00 € *

zzgl. Versandkosten zzgl. MwSt.

  • S629-70
3-D Quadrate in SiO2 Schicht auf Si-Wafer Chip Quadrathöhe ca. 20 nm +/- 1,5 nm... mehr
Produktinformationen "3-D Test-Raster TG3D-3000/20 Quadrate (unmontiert)"
  • 3-D Quadrate in SiO2 Schicht auf Si-Wafer Chip
  • Quadrathöhe ca. 20 nm +/- 1,5 nm
  • Quadratgröße ca. 1,5 µm Kantenlänge +/- 0,15 µm
  • Periode (pitch) 3 µm +/- 0,05 µm
  • Chipgröße ca. 5 mm x 5 mm x 0,5 mm
  • zentrales Feld mit Quadraten von ca. 3 mm x 3 mm
    S629-70-detail

Das TG3D-3000/20 Test-Raster mit seinen 3-dimensionalen Struktur ist für die simultane Kalibrierung in X-Y- und Z-Richtung, laterale Kalibrierung von SPM-Scannern und Detektierung von lateraler Nicht-Linearität, Hysterese und Cross-Coupling-Effekten bestimmt. Silizium-Chip mit einer SiO2 -Schicht für das Raster. Das 3-dimensionale Muster besteht aus kleinen Quadraten mit 20 nm ± 1,5 nm. Periodizität 3 µm ± 0,5 µm. Das Raster befindet sich auf dem 5 mm x 5 mm Si-Chip in der Mitte über einen Bereich von 3 mm x 3 mm. Bemerkung : Die Präzision der Höhe basiert auf den Messungen von 5 Rastern und zufällig ausgewählt aus einer Serie von 300 Rastern auf einem von der PTB zertifizierten TGZ-20 Raster (mit einem kalibrierten SPM). Die Stufenhöhe kann von der spezifizierten Höhe innerhalb 10 % abweichen (Beispiel: 22 nm ± 1,5 nm).

Zuletzt angesehen