AFM Kalibrierstandard für die Z-Achse

Die Kalibrierstandards der HS-Serie bieten eine einfache und zuverlässige Möglichkeit zur Kalibrierung von AFM-Systemen. Die Standards wurden in erster Linie für die genaue Kalibrierung der Z-Achse entwickelt, bieten aber auch die Kalibrierung der X- und Y-Achse für größere Scanner im Bereich von 40 µm -100 µm. Die symmetrische Struktur ermöglicht eine Kalibrierung, ohne dass die Probe zwischen der X- und Y-Achsenkalibrierung gedreht und neu ausgerichtet werden muss.
Die HS-Serie verfügt über Siliziumdioxid-Strukturarrays auf einem 5x5 mm großen Siliziumchip. Das Herstellungsverfahren gewährleistet eine hervorragende Gleichmäßigkeit der Strukturen auf dem Chip. Es sind drei Stufenhöhen mit Nennwerten von: 20nm, 100nm, und 500nm. Der tatsächliche Wert wird mit dem gelieferten Kalibrierungsstandard geliefert. Auf dem Chip sind Arrays von Strukturen mit unterschiedlichen Formen und Abständen integriert. Das größere Quadrat von 1 x 1 mm enthält quadratische Säulen und Löcher mit einem Abstand von 10 µm. Das kleinere Mittelquadrat von 500 x 500µm enthält kreisförmige Säulen und Löcher sowie Linien in X- und Y-Richtung mit einem Abstand von 5um.

• AFM-Kalibrierstandard für die Z-Achse
• Stufenhöhe: 100 nm
• elektrisch leitfähig montiert auf Ø 12 mm AFM-Scheibe 
• Verpackungseinheit: 1 Stück