Kalibrier-Raster mit unterschiedlicher Stufenhöhe für Z-Achsen-Kalibrierung

Den Block-Testraster für die Z-Achsen-Kalibrierung des SPM und der Linearitätsmessung gibt es mit unterschiedlichen Stufenhöhen. Es handelt sich um ein Si-Waferstück mit SiO2 -Auflage für das Raster. 1-dimensional in Z-Achse zu verwenden. Pitch (Periodizität) der Raster beträgt 3 µm ± 0,01 µm. Das Außenmaß des Si-Chips beträgt 5 mm x 5 mm, die Fläche mit einem effektiven Rasterbereich 3 mm x 3 mm.

• Struktur: Si-Wafer mit SiO2-Schicht zum Gitter
• Muster: 1-dimensional (in Richtung der Z-Achse)
• TGZ-20 Stufenhöhe: 20 nm ± 1,5 nm 
• Pitch (Periodizität): 3 ± 0,01 µm
• Chip Größe: 5 x 5 x 0,5 mm
• effektiver Rasterbereich: Zentrales Quadrat von 3 x 3 mm
• Verpackungseinheit: 1 Stück

Hinweis: Die Werte für die Stufenhöhen sind nominal. Die tatsächliche Stufenhöhe ist im Produkt angegeben und kann ± 10% betragen.