Dünnschicht Blenden aus Molybdän mit unterschiedlichen Lochgrößen

Dünne Folienblenden werden häufig in den Objektiven von hochauflösenden und Elektronenstrahl-Lithographiegeräten verwendet. Diese Blenden haben den Vorteil, dass sie sich im Strahl erwärmen und praktisch selbst reinigend sind. Dadurch wird der Astigmatismus, der durch die Ansammlung von Kohlenstoffverunreinigungen entsteht, minimiert. Die geringe Menge an Verunreinigungen, die sich nach einer längeren Operation ablagert, kann durch kurzzeitiges starkes Aufheizen der Blende mit dem fokussierten Elektronenstrahl entfernt werden. Die Vorteile dieses Blendentyps zeigen sich besonders beim Betrieb mit niedrigen Beschleunigungsspannungen oder kleinen Sonden Größen. Dünne Folienblenden sollten nicht in der Kondensorlinse verwendet werden, da sie schmelzen können. Sie sind natürlich auch empfindlicher in der Handhabung und können durch Abrieb oder einen plötzlichen Luftstrom im Vakuumsystem irreparabel beschädigt werden. Die normale Toleranz beim Lochdurchmesser beträgt ±10 %. Diese Blenden werden nach hohen Standards hergestellt und nur nach einer Einzelprüfung akzeptiert, bei der die Perfektion des Lochrandes, seine Rundheit und das Fehlen von Nadellöchern in der Umgebung kontrolliert werden. Es können auch andere spezifische Öffnungen und Durchmesser hergestellt werden.