REM-Titan-Testobjekt, 292 nm (nominell) für hohe Vergrößerungen, Hochauflösung

Kalibrierstandard für AFM, REM, Auger und FIB. Dieses titanbeschichtete Testobjekt (auf Siliziumsubstrat) mit periodischen Strukturen von nominal 292 nm wurde mit holographischen Methoden hergestellt. Es ergibt hohen Kontrast und ist sehr stabil. Die genauen Maße liegen jedem Testobjekt bei (das Bildbeispiel zeigt ein pitch-Maß von 292 nm). Die Genauigkeit der Maße beträgt ± 1 %. Es kann mit Beschleunigungsspannungen von 1 kV bis 30 kV verwendet werden und dient zur Überprüfung der Vergrößerung im Bereich von x 5000 bis x 200.000. Die Höhe der Linien beträgt ca. 30 nm und die Linienbreite ca. 130 nm (diese beiden Maße sind nicht kalibriert).

• Titanbeschichtetes Testobjekt auf Siliziumsubstrat
• Strukturgröße: 292 nm
• Bescheinigung: Kalibrierschein der PTB Braunschweig
• Verpackungseinheit: 1 Stück