Kalibrier-Raster, unmontiert

Kalibrier-Raster, unmontiert
218,00 € *

zzgl. Versandkosten & MwSt.
Versandkostenfrei ab einem Warenwert von EUR 400,00

Typ

Stufenhöhe

  • S629-10
Produktinformationen "Kalibrier-Raster, unmontiert"

Den Block-Testraster für die Z-Achsen-Kalibrierung des SPM und der Linearitätsmessung gibt es mit unterschiedlichen Stufenhöhen. Es handelt sich um ein Si-Waferstückchen mit SiO2 -Auflage für das Raster. 1-dimensional in Z-Achse zu verwenden. Pitch (Perioditizät) der Raster beträgt 3 µm ± 0,01 µm. Das Außenmaß des Si-Chips beträgt 5 mm x 5 mm, die Fläche mit einem effektiven Rasterbereich 3 mm x 3 mm.

  • Struktur: Si-Wafer mit SiO2-Schicht zum Gitter
  • Muster: 1-dimensional (in Richtung der Z-Achse)
  • TGZ-20 Stufenhöhe: 20 nm ± 1,5 nm 
  • Pitch (Periodizität): 3 ± 0,01 µm
  • Chip Größe: 5 x 5 x 0,5 mm
  • effektiver Rasterbereich: Zentrales Quadrat von 3 x 3 mm
  • Verpackungseinheit: 1 Stück

Hinweis: Die Werte für die Stufenhöhen sind nominal. Die tatsächliche Stufenhöhe ist im Produkt angegeben und kann ± 5% betragen.

afm Block Test Gratings for Z-axis

Zuletzt angesehen