1-D Dreiecks-Test-Raster TGT-1500 (unmontiert)

Das Test-Raster TGT-1500 ist für die SPM-Kalibrierung in der X- oder Y-Achse, die Bestimmung der lateralen und vertikalen Scanner-Nichtlinearität, die Erkennung von Winkelverzerrungen und die Charakterisierung der Spitze vorgesehen. Die Nennwerte für Höhe und Abstand sind nachfolgend angegeben. Die tatsächlichen Werte sind im Lieferumfang des Testgitters enthalten.

Silizium-Chip mit 1-dimensionalem Raster mit dreieckigen Erhöhungen mit präzisen linearen und winkeligen Abmessungen. Spitzenwinkel 70°, Kantenradius ≤ 10 nm, Höhe der Dreiecksstufen 1,5 µm, Pitch (Periodizität) 3 µm ± 0,01 µm. Das Außenmaß des Si-Chips beträgt 5 mm x 5 mm x 0,5 mm, die Fläche mit einem effektiven Rasterbereich 3 mm x 3 mm.

• Si-Wafer mit eindimensionalem Dreiecksraster (1-D) in der obersten Schicht
• Kantenwinkel ca. 70°
• Peakhöhe ca. 1,8 µm (Peak-zu-Tal, nicht kalibriert)
• Peak-zu-Peak Abstand (pitch) ca. 3 µm +/- 0,01 µm
• Si-Chipgröße = 5 mm x 5 mm
• Effektive (zentrale) Rasterfläche ca. 3 mm x 3 mm
• Geeignet zum Test der X- oder Y-Achse
• Nicht auf Träger montiert
• Verpackungseinheit: 1 Stück
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