1-D Dreiecks-Test-Raster TGT-1500 (auf AFM-Scheibe) für X- oder Y-Achse

1-D Dreiecks-Test-Raster TGT-1500 (auf AFM-Scheibe) für X- oder Y-Achse
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  • S629-40AFM
Dieses Raster ist fr die SPM-Kalibrierung in X-oder Y-Achse, Bestimmung der lateralen und... mehr
Produktinformationen "1-D Dreiecks-Test-Raster TGT-1500 (auf AFM-Scheibe) für X- oder Y-Achse"

Dieses Raster ist fr die SPM-Kalibrierung in X-oder Y-Achse, Bestimmung der lateralen und vertikalen Scanner Linearit„tsabweichung, des Findens von Winkelverzeichnungen und Spitzen-Charakterisierung vorgesehen.
Silizium-Chip mit 1-dimensionalem Raster mit dreieckigen Erh”hungen mit pr„zisen linearen und winkeligen Abmessungen. Spitzenwinkel 70ø, Kantenradiusÿ? 10 nm, H”he der Dreiecksstufen 1,5 æm, Pitch (Periodizit„t) 3 æm ñ 0,01 æm. Das Auáenmaá des Si-Chips betr„gt 5 mm x 5 mm x 0,5 mm, die Fl„che mit einem effektiven Rasterbereich 3 mm x 3 mm.

  • Si-Wafer mit eindimensionalem Dreiecksraster (1-D) in der obersten Schicht
  • Kantenwinkel ca. 70øÿ
  • Kantenradiusÿ? 10 nm
  • Peakh”he ca. 1,8 æm (Peak-zu-Tal, nicht kalibriert)
  • Peak-zu-Peak Abstand (pitch) ca. 3 æm +/- 0,01 æm
  • Si-Chipgr”áe = 5 mm x 5 mm
  • Effektive (zentrale) Rasterfl„che ca. 3 mm x 3 mm
  • Geeignet zum Test der x- oder y-Achse
  • Montiert auf einer 12 mm Durchmesser AFM-Scheibe
  • Verpackungseinheit: 1 Stck
  • S629-40-detail

Dieses Raster ist fr die SPM-Kalibrierung in X-oder Y-Achse, Bestimmung der lateralen und vertikalen Scanner Linearit„tsabweichung, des Findens von Winkelverzeichnungen und Spitzen-Charakterisierung vorgesehen.

Silizium-Chip mit 1-dimensionalem Raster mit dreieckigen Erh”hungen mit pr„zisen linearen und winkeligen Abmessungen. Spitzenwinkel 70ø, Kantenradius ? 10 nm, H”he der Dreiecksstufen 1,5 æm, Pitch (Periodizit„t) 3 æm ñ 0,01 æm. Das Auáenmaá des Si-Chips betr„gt 5 mm x 5 mm x 0,5 mm, die Fl„che mit einem effektiven Rasterbereich 3 mm x 3 mm.
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