CDMS Critical Dimensions and Magnification Standards

Die Pelcotec™ CDMS Critical Dimensions and Magnification Standards werden auf einem ultraflachen Siliziumsubstrat mit einer präzisen 50 nm Chromschicht für die Strukturen bis zu 5 µm und einer Kombination aus 50 nm Gold über 20 nm Chrom für die Strukturen von 2 µm bis 100 nm hergestellt. Die Cr- und die Au/Cr-Schicht auf Silizium bietet sowohl in der SE- als auch in der BSE-Abbildung einen ausgezeichneten Kontrast. Die Strukturen sind einfacher zu identifizieren als auf Standards mit geätztem Silizium. Da das Siliziumsubstrat, die Chrom- und die Chrom/Gold-Strukturen alle leitfähig sind, gibt es bei diesem Kalibrierstandard keine Aufladungsprobleme. Aufgrund seiner robusten Konstruktion kann der CDMS-Standard in einem Plasmareiniger gesäubert werden.

Die kleineren Strukturen sind zur einfachen Navigation und schnellen Kalibrierung verschachtelt. Die Genauigkeit der Strukturmaße liegt bei 0,3 % oder besser. Die tatsächliche Größe des Standards beträgt 2,5 mm x 2,5 mm und einer Dicke von 675 µm ±10 µm. Es gibt keine Beschichtung auf der Si-Oberfläche. Jeder Pelcotec™ CDMS-Kalibrierungsstandard hat eine eindeutige Identifikationsnummer.
Sie sind entweder unmontiert oder auf SEM-Haltern A-R montiert erhältlich. Für AFM-Anwendungen ist die Pelcotec™ CDMS auf einer 12 mm AFM-Scheibe montiert, für LM-Anwendungen auf einem 25 x 75 mm großen Glasträger.
Die Probe kann auch auf einer kundenspezifischen Halterung Ihrer Wahl präpariert werden.

Bewahren Sie den Pelcotec™ CDMS-Kalibrierstandard in einem Vakuum-Exsikkator wie z. B. dem PELCO-®-Vakuum-Exsikkator für Stiftprobenteller, Art.-Nr. 16179, auf.