Fluoreszierender LM Auflösungstest

Mit diesem fluoreszierenden ultrahochauflösenden Testdiagramm kann die Auflösungsgrenze und MTF von High-End-Mikroskopobjektiven über das gesamte Sehfeld bestimmt werden. Linien mit einem Abstand von bis herunter zu 200 nm (5000 Linienpaare pro mm) in horizontaler und vertikaler Ausrichtung ermöglichen es, bis an die Auflösungsgrenze der besten verfügbaren Ölimmersionsobjektive zu kommen. Auf quadratischen Rastern angeordnete Pinholes decken die Felder von 10x-, 20x-, 40x-, 63x- und 100x-Objektiven ab. Die Strukturen des Testcharts werden auf einem hochpräzisen Deckglas mit einer Dicke von 0,17 mm +/- 5 µm erzeugt, das auf ein transparentes fluoreszierendes Substrat gekittet ist. Somit kann der Testobjektträger im Fluoreszenz- und Hellfeldmodus oder mit einem Laser-Scanning-Mikroskop verwendet werden. Die Strukturen sind negativ umgesetzt, d. h. nur die Strukturen sind transparent, während der Hintergrund durch eine Chromschicht verdeckt wird.

A: Fünf Bereiche mit Quadraten für slanted-edge MTF. Die Größe der Bereiche entspricht der Feldgröße von 10x-, 20x-, 40x-, 63x- und 100x-Mikroskopobjektiven.
In einigen Bereichen gibt es ergänzende ultrafeine Strukturen mit Perioden, die an oder unter den aktuellen Grenzen des Herstellungsprozesses liegen.
Diese Strukturen sind möglicherweise nicht sauber geätzt, unvollständig oder mit Ablagerungen bedeckt. 

B: Fünf Bereiche mit 20x20 Pinholes. Die Größe der Bereiche entspricht wiederum der Feldgröße von 10x-, 20x-, 40x-, 63x- und 100x-Mikroskopobjektiven
(hier nicht vergrößert dargestellt).

C: Liniengruppen (jeweils 5 Linien horizontal und vertikal) und eine Pinhole mit einem Durchmesser, der der Linienbreite entspricht, jedoch nicht kleiner als 320nm ist.

D: Hochpräzise Skala mit 4 mm Länge.