Ultra-Flat 6" Silicon Wafer

Ultra-Flat 6" Silicon Wafer
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  • 21610-6
Für gehobene Ansprüche bieten wir einen Ultra-Flat Wafer mit einer Oberflächenrauheit von... mehr
Produktinformationen "Ultra-Flat 6" Silicon Wafer"

Für gehobene Ansprüche bieten wir einen Ultra-Flat Wafer mit einer Oberflächenrauheit von typischerweise 2 - 3 Å und Ebenheit 1 nach SEMI Standard (über die Länge 57,5 ± 2,5mm) an.

Eigenschaften für 6" (150 mm) Ultraflachwafer:

  • Orientierung: <100>
  • Typ: P / Dotierstoff: Bor
  • Spezifischer Widerstand: 10-20 Ohm / cm
  • Dicke: 675 µm ± 20 µm
  • TTV: ≤ 2 µm
  • Kette: ≤ 30 µm / Bogen: ≤ 20 µm
  • Partikel: ≤ 30 @ ≥ 0,2 um
  • Vorderseite: Poliert
  • Rückseite: Geätzt
  • Flach: 1 pro SEMI-Standard
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