MetroChip - Multi-Kalibriertestobjekt

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Der MetroChip Mikroskop-Kalibrierungsstandard für SEM, FIB, AFM, Lichtmikroskopie und... mehr
Produktinformationen "MetroChip - Multi-Kalibriertestobjekt"

Der MetroChip Mikroskop-Kalibrierungsstandard für SEM, FIB, AFM, Lichtmikroskopie und Metrologiesysteme bietet ein umfangreiches Angebot an Targets mit periodischen Strukturen für eine verbesserte Kalibrierung bis in den 100nm-Bereich. Der MetroChip-Standard wurde mit Blick auf die heutigen Anforderungen der Nanotechnologie entwickelt. Er ist für eine lange Lebensdauer ausgelegt und bietet eine stabile Kalibrierungsplattform. Der Standard wird auf einem 20x20mm großen Chip mit einer Dicke von 750µm hergestellt. Er liefert kontrastreiche Bilder für die analytische REM mit minimaler Aufladung und kombiniert einen riesigen Kalibrierungsbereich von 4mm bis hinunter zu 100nm. Zu den Kalibrierungszielen für SEM gehören Ausrichtungsmarken, lineare Mikromaßstäbe, Verzeichnungsmessungen, achsparallele Kalibrierung (Bildverschiebung), Auflösungsmessungen, Fokusstern, Stigmator-Kalibrierung, Gitter, konzentrische Kreise und Quadrate. Die Kombination dieser Targets auf einem Standard macht den MetroChip zu einem idealen All-in-One-Standard für die Einrichtung und regelmäßige Kalibrierungsprüfung von SEM, FIB oder FESEM. Er wird auch für die Lichtmikroskopie und AFM eingesetzt; es gibt eine Reihe von Targets zur Überprüfung von Linearität, Verzerrung und Scanlänge.

Das fertige Produkt hat Muster aus geätztem polykristallinem Silizium über einer dünnen Oxidschicht auf Siliziumsubstrat. Die Dicke des Polysiliziums beträgt 150nm ±10%. Die Oxiddicke unter den Polysiliziumstrukturen beträgt weniger als 5 nm, typischerweise 2,5 bis 3 nm.

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  • Universeller Kalibrierungsstandard
  • Strulkturgrößen von 4 mm bis 100 nm
  • Viele Test- und Justierstrukturen
  • Verpackungseinheit: 1 Stück
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