Silizium Rahmen ohne Trägerfilm

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Die Pelco Silizium-Rahmen haben einen Außendurchmesser von 3 mm und eine Dicke von 200 µm. Die... mehr
Produktinformationen "Silizium Rahmen ohne Trägerfilm"

Die Pelco Silizium-Rahmen haben einen Außendurchmesser von 3 mm und eine Dicke von 200 µm. Die Oberseite besteht aus Silizium und die Unterseite (mit der größeren Öffnung) hat eine 50 nm Schicht Si3N4. Der Seitenwinkel der Rahmen beträgt 35,26°. Die Rahmen werden unter Reinraumbedingungen verpackt. Sie werden zum Beispiel als Trägerrahmen verwendet, an die man mit FIB hergestellte TEM-Lamellen befestigt. Zudem dienen sie als Trägerrahmen für dünne Filme, Folien, Drähte und Fasern. Sie können auch als Maske für die Dünnfilm-Forschung verwendet werden (deposition mask).

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