Ultra-Flat 6" Silicon Wafer

Ultra-Flat 6" Silicon Wafer
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  • 21610-6
Für gehobene Ansprüche bieten wir einen Ultra-Flat Wafer mit einer Oberflächenrauheit von... mehr
Produktinformationen "Ultra-Flat 6" Silicon Wafer"

Für gehobene Ansprüche bieten wir einen Ultra-Flat Wafer mit einer Oberflächenrauheit von typischerweise 2 - 3 Å und Ebenheit 1 nach SEMI Standard (über die Länge 57,5 ± 2,5mm) an.

Eigenschaften für 6 "(150 mm) Ultraflachwafer:

  • Orientierung: <100>
  • Typ: P / Dotierstoff: Bor
  • Spezifischer Widerstand: 1-10 Ohm / cm
  • Dicke: 650 - 700 um
  • TTV: ≤ 1,5 um
  • Kette: ≤ 30 um / Bogen: ≤ 30 um
  • Partikel: ≤ 30 @ ≥ 0,2 um
  • Vorderseite: Poliert
  • Rückseite: Geätzt
  • Flach: 1 pro SEMI-Standard (flache Länge 57,5 ​​± 2,5 mm)
  • Größe: Würfelchips mit 5 x 5 mm, 5 x 7 mm oder 10 x 10 mm
  • Rauheit: Typisch 2-3 Å (durch AFM-Messung)
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