Ultra-Flat 6" Silicon Wafer in Gel-Pak Schachtel (geschnitten)

Ultraflacher Siliziumwafer mit 6" Durchmesser für gehobene Ansprüche, geschnitten in 5 mm x 5 mm, 5 mm x 7 mm, 10 mm x 10 mm Stückchen und in einer Gel-Pak® Schachtel verpackt.

Eigenschaften für 6" (150 mm) Ultraflachwafer:

• Orientierung: <100>
• Typ: P / Dotierstoff: Bor
• Spezifischer Widerstand: 1 - 10 Ohm / cm
• Dicke: 650 - 700 µm
• TTV: ≤ 1,5 µm
• Kette: ≤ 30 µm / Bogen: ≤ 30 µm
• Partikel: ≤ 30 @ ≥ 0,2 µm
• Vorderseite: Poliert
• Rückseite: Geätzt
• Flach: 1 pro SEMI-Standard (flache Länge 57,5 mm ​​± 2,5 mm)
• Größe der Chips: 5 mm x 5 mm, 5 mm x 7 mm oder 10 mm x 10 mm
• Rauheit: Typisch 2-3 Å (durch AFM-Messung)