PLANOTEC Si-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter und Eichzertifikat der PTB

PLANOTEC Si-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter und Eichzertifikat der PTB
2.298,00 € *

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  • S2051
Testobjekt aus einkristallinem Silizium. Außenmaße = 5 mm x 5 mm. Wie bei Art.-Nr. S1930 ff.... mehr
Produktinformationen "PLANOTEC Si-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter und Eichzertifikat der PTB"

Testobjekt aus einkristallinem Silizium. Außenmaße = 5 mm x 5 mm. Wie bei Art.-Nr. S1930 ff. handelt es sich um elektronenstrahlgeformte Quadrate, hier mit einer Periodizität von 5 µm +/- 0,05 µm (Abbildung b), d.h. die Seitenlänge der Quadrate beträgt ca. 4 µm und die Grabenbreite beträgt ca. 1 µm. Die Grabentiefe beträgt ca. 250 nm. Das Testobjekt zeigt eine eindeutige Seriennummer.

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