PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter

PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter
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  • S2005
Testobjekt aus einkristallinem Silizium. Außenmaße = 5 mm x 5 mm. Wie bei Art.-Nr. S1930 ff.... mehr
Produktinformationen "PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter"

Testobjekt aus einkristallinem Silizium. Außenmaße = 5 mm x 5 mm. Wie bei Art.-Nr. S1930 ff. handelt es sich um elektronenstrahlgeformte Quadrate, hier mit einer Periodizität von 5 µm +/- 0,05 µm (Abbildung b), d.h. die Seitenlänge der Quadrate beträgt ca. 4 µm und die Grabenbreite beträgt ca. 1 µm. Die Grabentiefe beträgt ca. 250 nm. Jedes Testobjekt zeigt eine eindeutige Seriennummer. Die Artikelnummer S2051 beinhaltet 1 Testobjekt mit PTB-Kalibrierschein.

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