MetroChip - Multi-Kalibriertestobjekt

Der MetroChip bietet für die Kalibrierung von REM, FIB, AFM, Lichtmikroskopie und Mess-Systemen eine Vielfalt an Strukturen auf einem einzelnen Substrat. Die Außenmaße des Chips sind 20 mm x 20 mm x 750 µm dick. Die Kalibriermaße reichen von 4 mm bis hinunter zu 100 nm. Sie befinden sich eingeätzt in einer polykristallinen Siliziumschicht von 150 nm ± 10 %, die sich auf einer dünnen Siliziumoxidschicht (ca. 2,5 nm – 3 nm) befindet, die wiederum auf einem Siliziumsubstrat aufliegt. Da sich sehr viele Strukturen auf dem MetroChip befinden, fordern Sie Details gerne an, die wir Ihnen auf separatem Wege zukommen lassen.