MetroChip - Multi-Kalibriertestobjekt

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Produktinformationen "MetroChip - Multi-Kalibriertestobjekt"

Der MetroChip bietet für die Kalibrierung von REM, FIB, AFM, Lichtmikroskopie und Mess-Systemen eine Vielfalt an Strukturen auf einem einzelnen Substrat. Die Außenmaße des Chips sind 20 mm x 20 mm x 750 µm dick. Die Kalibriermaße reichen von 4 mm bis hinunter zu 100 nm. Sie befinden sich eingeätzt in einer polykristallinen Silikonschicht von 150 nm ± 10 %, die sich auf einer dünnen Siliziumoxidschicht (ca. 2,5 nm – 3 nm) befindet, die wiederum auf einem Siliziumsubstrat aufliegt. Da sich sehr viele Strukturen auf dem MetroChip befinden, fordern Sie Details gerne an, die wir Ihnen auf separatem Wege zukommen lassen.

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