PLANOTEC Kalibrierstrukturen 500 nm - 200 nm - 100 nm (nicht zertifiziert)

PLANOTEC Kalibrierstrukturen 500 nm - 200 nm - 100 nm (nicht zertifiziert)
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  • S1998
Die PLANOTEC Kalibrierstruktur hat einen der CD-Kalibrierstruktur entsprechenden Aufbau. Im... mehr
Produktinformationen "PLANOTEC Kalibrierstrukturen 500 nm - 200 nm - 100 nm (nicht zertifiziert)"

Die PLANOTEC Kalibrierstruktur hat einen der CD-Kalibrierstruktur entsprechenden Aufbau. Im Zentrum des leicht zu identifizierbaren Zielkreuzes befinden sich Gruppen von je 5 erhabenen Linien mit einem „pitch“-Maß (Periodizität) von 500 nm - 200 nm - 100 nm. Bei der 100 nm-Struktur kann es vorkommen, dass eine der 5 Linien nicht geschrieben wurde. Dies ist aber leicht erkennbar und macht das Testobjekt deswegen nicht unbrauchbar. Die Höhe der Linien beträgt ca. 45 - 50 nm. Dieses Testobjekt ist leider nicht mehr PTB-zertifiziert erhältlich.

S1998

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