CDMS - Pelcotec™ Critical Dimension Vergrößerungsstandard

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Kalibrierstruktur

  • 682-1
Das Testobjekt besteht aus einem 2,5 mm x 2,5 mm ultra-flachen Silizium-Substrat mit einer... mehr
Produktinformationen "CDMS - Pelcotec™ Critical Dimension Vergrößerungsstandard"

Das Testobjekt besteht aus einem 2,5 mm x 2,5 mm ultra-flachen Silizium-Substrat mit einer präzisen 50 nm Chrom-Auflage, welche die Strukturen bis 5 µm ermöglichen und einer Kombination von einer 50 nm Goldschicht auf 20 nm Chrom für die Strukturen von 2 µm bis 100 nm. Das Chrom und Gold/Chrom zeigen einen exzellenten Kontrast im Sekundär- als auch Rückstreuelektronen-Modus. Dieses Testobjekt kann mit Zertifikat geliefert werden, welches auf ein NIST-Zertifikat (National Institute of Standards) zurückgeführt werden kann. Es kann in einem Plasma-Cleaner gereinigt werden. Die Serie Pelcotec™ CDMS-1T ist für die Strukturen 2,0 mm bis 1 µm zurückführbar auf NIST. Dieser Bereich ermöglicht Vergrößerungen x10 bis x20.000. Die Serie Pelcotec™ CDMS-0.1T ist für die Strukturen 2,0 mm bis 100 nm zurückführbar auf NIST. Dieser Bereich ermöglicht Vergrößerungen x10 bis x200.000. Aus der Serie Pelcotec™ CDMS-1C sind die einzelnen Standards für die Strukturen 2,0 mm bis 1 µm gegen einen NIST-Standard zertifiziert. Dieser Bereich ermöglicht Vergrößerungen x10 bis x20.000. Aus der Serie Pelcotec™ CDMS-0.1C sind die einzelnen Standards für die Strukturen 2,0 mm bis 100 nm gegen einen NIST- Standard zertifiziert. Dieser Bereich ermöglicht Vergrößerungen x10 bis x200.000.

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