Kalibrier-Raster, unmontiert

Kalibrier-Raster, unmontiert
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Höhe

Stufenhöhe

  • S629-10
Den Block-Testraster für die Z-Achsen-Kalibrierung des SPM und der Linearitätsmessung gibt es... mehr
Produktinformationen "Kalibrier-Raster, unmontiert"

Den Block-Testraster für die Z-Achsen-Kalibrierung des SPM und der Linearitätsmessung gibt es mit unterschiedlichen Stufenhöhen. Es handelt sich um ein Si-Waferstückchen mit SiO2 -Auflage für das Raster. 1-dimensional in Z-Achse zu verwenden. Pitch (Perioditizät) der Raster beträgt 3 µm ± 0,01 µm. Das Außenmaß des Si-Chips beträgt 5 mm x 5 mm, die Fläche mit einem effektiven Rasterbereich 3 mm x 3 mm.

  • Struktur: Si-Wafer mit SiO2-Schicht zum Gitter
  • Muster: 1-dimensional (in Richtung der Z-Achse)
  • Stufenhöhen:  20 ± 1,5 nm für TGZ-20
                        110 ± 2 nm für TGZ-100
                        520 ± 3 nm für TGZ-500
  • Pitch (Periodizität): 3 ± 0,01 um
  • Chip Größe: 5 x 5 x 0,5 mm
  • effektiver Rasterbereich: Zentrales Quadrat von 3 x 3 mm

Hinweis: Die Werte für die Stufenhöhen sind nominal. Die tatsächliche Stufenhöhe ist im Produkt angegeben und kann ± 5% betragen.

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