AFM Kalibrierstandard für XYZ-Achse auf 12 mm ø AFM-Scheibe

AFM Kalibrierstandard für XYZ-Achse auf 12 mm ø AFM-Scheibe
878,00 € *

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  • SCS-20NG
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Produktinformationen "AFM Kalibrierstandard für XYZ-Achse auf 12 mm ø AFM-Scheibe"

Dieser Standard bietet für AFM-Systeme in XY und Z-Richtung einen erweiterten Kalibrierbereich bis in den Nanometer-Bereich. Dieser XYZ-Kalibrierstandard verfügt über Siliziumdioxid-Strukturen auf einem 5 mm x 5 mm großen Silizium-Chip. Die Strukturhöhe beträgt ca. 20 nm, wobei die tatsächliche Höhenangabe bei der Chip-Auslieferung dokumentiert wird. Der Standard SCS- 20NG hat drei verschiedene X-Y Strukturmuster, alle mit der gleichen 20 nm-Höhe. Das große 1 mm x 1 mm Feld beinhaltet quadratische Säulen und Vertiefungen mit 10 µm -pitch (Periodizität). Das mittlere Quadrat beinhaltet runde Säulen, Vertiefungen und Linien mit 5 µm pitch. Das kleine, zentrale Quadrat enthält runde Vertiefungen mit 500 nm-pitch. Dieser SCS-20NG Standard ist sowohl für die laterale, als auch vertikale AFM-Scanner Kalibrierung geeignet. Die Struktursymmetrie erlaubt den Wechsel zwischen X -und Y- Kalibrierung, ohne die Probe drehen zu müssen. Der XYZ-Kalibrierstandard ist mit einem qualitativ hochwertigen leitfähigen Epoxyharz auf einer 12 mm Ø AFM-Scheibe aufgeklebt.

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