PELCO Siliziumdioxid Membran

Diese PELCO®-Membranen aus Siliziumdioxid (SiO2) bieten eine hervorragende Ebenheit. Unter Verwendung fortschrittlicher MEMS-Herstellungstechnologien in Kombination mit neuartigen Techniken zur Reduzierung von Spannungen konnten Siliziumdioxid-Trägerfolien mit einer unübertroffenen Ebenheit und einer Membrandicke von 40 nm, 18 nm und 8 nm hergestellt werden. Es ist wirklich die nächste Generation von Siliziumdioxidmembranen. Die Ebenheit unserer Siliziumdioxidmembranen ist mindestens 10x besser als bei Wettbewerbsprodukten. Die SiO₂-Membranen sind vollständig amorph.

Die Siliziumdioxid-Trägerfolien (SiO₂) werden unter Verwendung der PELCO® 200-nm-Siliziumnitrid-Trägerfolien (Si₃N₄) mit einem Fenster von 0,5 mm x 0,5 mm auf einem perfekt runden 3-mm-Si-Rahmen als Plattform hergestellt. Die Siliziumdioxid-Trägerfolien bestehen aus reiner und amorpher thermischer SiO₂-Membran. Die 0,5 mm x 0,5 mm Membran hat 24 Öffnungen mit einer Größe zwischen 50 x 50 um und 70 x 70 um, die in das thermisch abgeschiedene amporöse Siliciumdioxid zurückgeätzt werden, wobei eine strukturfreie, dünne SiO₂-Membran von 40 nm, 18 nm oder 8 nm verbleibt, die an einem optisch transparenten (Si₃N₄ - Trägernetz von 200 nm aufgehängt ist . Die Balkengröße zwischen den SiO2-Öffnungen beträgt 25-35 um und die Grenzbreite 25-55 um. Das Design des Netzes und das Verhältnis von Netzsuspension und Siliziumdioxidfilm wurde optimiert, um flache Siliziumdioxid-Trägerfilme mit einer Größe von 50 x 50 um bis 70 x 70 um zu ermöglichen. Das Ergebnis ist eine Siliziumdioxidmembran mit einer wirklich hervorragenden Ebenheit, ideal für die TEM-Bildgebung. Bei dem einzigartigen Design dieses PELCO®-Produkts wird die Kompression im SiO₂-Film durch die Spannung in der Si₃N₄-Gitterstruktur ausgeglichen. Die Maschengröße der Siliziumdioxid-Trägerfolien ist vergleichbar mit der Flächengröße der meisten 300- und 400-mesh-TEM-Netzchen und wird für viele Anwendungen als praktikable Größe angesehen. Auf jedem Bild befinden sich 24 Felder mit SiO₂-Trägerfilmen. Die Grenze der 200-nm-Si3N4-Membran lässt viel Raum für Experimente mit Si₃N₄.

Thermisches Siliziumdioxid ist eine der am häufigsten funktionalisierten Oberflächen in der analytischen Chemie und kann als Plattform zur Untersuchung von Basismaterialien und biologischen Einheiten verwendet werden. Die Trägerfolien können entweder als passive physikalische Träger für die TEM-Bildgebung oder als aktive Versuchsteilnehmer eingesetzt werden. Die PELCO® Siliziumdioxid-Trägerfolien weisen eine hervorragende chemische, physikalische und thermische Stabilität auf. Die Eigenschaften können durch Beschichtungen modifiziert oder verbessert werden, oder die Eigenschaften dünner Filme können durch direkte Abscheidung auf dem Siliziumdioxidfilm untersucht werden. Die 8 nm dünnen SiO₂ -Membranen sind elastisch genug, um unter Verwendung eines FIB kundenspezifische Löcher herzustellen.

Beispiele für Anwendungen sind:

• Ablagerung und Wachstum von Nanomaterialien.
• Dünnschichtanalyse und -charakterisierung.
• Katalysatorforschung und -entwicklung.
• Unterstützung für FIB-Lamellen.
• Charakterisierung von Halbleitermaterialien.
• Untersuchung von angehefteten biologischen Molekülen.

Produktspezifikationen:

Definierende Parameter für die PELCO® Amorphen Siliziumdioxid-Trägerfolien sind:

• Membrandicke: 40nm, 18nm und 8nm.
• Öffnungsgröße / Anzahl: 50 x 50 um / 24 Öffnungen für 40 nm, 60 x 60 um / 24 Öffnungen für 18 nm und 70 x 70 um / 24 Öffnungen für 8 nm.
• Muster: 5 Zeilen x 5 Spalten mit 200 nm Si3N4-Gitter-Trägerstruktur, 35 um Stab und 55 um Rand für 40 nm, 35 um Stab und 30 um Rand für 18 nm und 25 um Stab und 25 um Rand für 8 nm.
• Gesamtfensterfläche: 0,5 mm x 0,5 mm.
• Rahmendicke: Die Silizium-Trägerstruktur entspricht dem 200-µm-Standard. Dies ermöglicht den Einbau in Standard-TEM-Halter und ergibt einen stabilen Stützrahmen.
• Oberflächenrauheit: Der RMS (Rq) beträgt 0,65 nm, was eine mittlere Rauheit (Ra) von 0,41 nm ergibt.
• Rahmendurchmesser: TEM-Standardscheibe mit 3 mm Durchmesser, voll kompatibel mit normalen TEM-Haltern und mit EasyGrip™-Kanten für eine verbesserte Handhabung.
• Verpackung: Die PELCO® Silicon Dioxide Support Films werden unter Reinraumbedingungen in der PELCO® # 160 TEM Grid Storage Box verpackt. Jede Box enthält 10 Trägerfilme.