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Testobjekte und Referenzstandards

„CRITICAL DIMENSION“ CD-Kalibrierstrukturen 10-5-2-1-0,5 µm

Die CD-Kalibrierstrukturen sind neben allgemeinen Anwendungen von speziellem Interesse für Mikroskopanwender und Prüfingenieure, die mit Hochleistungs-REM oder Atomkraftmikroskopen Messungen von kritischen Distanzen durchführen (zum Beispiel Halbleiter-Industrie). Der 4,8 mm x 4,5 mm große Standard aus Silizium zeigt ein Schachbrett-Muster mit einer Seitenlänge von jeweils 480 µm. Dieses kann verwendet werden, um die Bildparameter zu optimieren und Verzerrungen zu kontrollieren. Auf dem Standard befindet sich zentral eine Serie von Mustern mit jeweils 5 Linien (Tiefe ca. 150 nm), jedes Muster gekennzeichnet mit seinem „pitch“ (Periodizität): 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm und 0,5 µm. Jeder Standard ist mit seiner eigenen individuellen Seriennummer versehen. Dieser Standard ist auch durch die PTB zertifiziert erhältlich. Gemessen werden jeweils die „pitch“-Maße: Die jeweils mittlere Linie eines Musters („rechte Schulter“) bis zur nächsten „rechten Schulter“ der folgenden Linie.

S1995A56c35bf65f7b8

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1995A CD Kalibrierstrukturen, 10-5-2-1-0,5 µm, nicht zertifiziert

57,60 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1997A CD Kalibrierstrukturen, 10-5-2-1-0,5 µm, PTB zertifiziert

984,00 € *

 
 
 

PLANOTEC Kalibrierstruktur 500-200-100 nm

Die PLANOTEC Kalibrierstruktur hat einen der CD-Kalibrierstruktur entsprechenden Aufbau. Im Zentrum des leicht zu identifizierbaren Zielkreuzes befinden sich Gruppen von je 5 erhabenen Linien mit einem „pitch“-Maß (Periodizität) von 500 nm - 200 nm- 100 nm. Bei der 100 nm-Struktur kann es vorkommen, dass eine der 5 Linien nicht geschrieben wurde. Dies ist aber leicht erkennbar und macht das Testobjekt deswegen nicht unbrauchbar. Die Höhe der Linien beträgt ca. 45 - 50 nm. Dieses Testobjekt ist auch durch die PTB zertifiziert erhältlich.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1998 PLANOTEC Kalibrierstruktur, 500 nm - 200 nm - 100 nm, nicht zertifiziert

397,00 € *

 
 
 

REM-Titan-Testobjekt 292 nm (nominell)

Für hohe Vergrößerungen, Hochauflösung, Kalibrierstandard für AFM, REM, Auger und FIB. Dieses titanbeschichtete Testobjekt (auf Siliziumsubstrat) mit periodischen Strukturen von nominal 300 nm wurde mit holographischen Methoden hergestellt. Es ergibt hohen Kontrast und ist sehr stabil. Die genauen Maße liegen jedem Testobjekt bei (das Bildbeispiel zeigt ein pitch-Maß von 292 nm). Die Genauigkeit der Maße beträgt ± 1 %. Es kann mit Beschleunigungsspannungen von 1 kV bis 30 kV verwendet werden und dient zur Überprüfung der Vergrößerung im Bereich von x 5000 bis x 200.000. Die Höhe der Linien beträgt ca. 30 nm und die Linienbreite ca. 130 nm (beide Maße sind nicht kalibriert).

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
643-1 REM-Titan-Testobjekt, 1 Stück

1.698,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
643-11 REM-Titan-Testobjekt, mit Kalibrierschein der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt PTB

2.892,00 € *

 
 
 

145 nm Pitch Referenz-Standard für AFM

Die Aluminium-Linien auf einen Glassubstrat (4 mm x 6 mm) mit periodischen Strukturen von nominal 145 nm wurden mit holographischen Methoden hergestellt. Die genauen Maße liegen jedem Testobjekt bei. Die Linien-Höhe beträgt ca. 100 nm, die Lini- enbreite beträgt ca. 75 nm (beide Maße sind nicht kalibriert). Der Bereich mit dem Muster bedeckt den gesamten Standard und erlaubt somit sehr viele Messungen, ohne dass ein Bereich wiederholt verwendet werden muss, der durch eine Messung evtl. beschädigt wurde. Die Genauigkeit der Maße beträgt ± 1 nm. Wird für AFM benötigt und ist für Kontakt-, Tapping- und weiteren AFM-Methoden anwendbar, bei Bildgrößen von 250 nm bis 10 µm. Der Sendung  beigelegt  ist  ein  Inhouse-Zertifikat  des  Herstellers,  welches  den  durchschnittlichen „pitch“ (Periodizität) ausweist, basierend auf Chargen-Messung.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
642-1 145 nm Pitch, unmontiert, 1 Stück

939,90 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
642-1AFM 145 nm Pitch, montiert auf 12 mm AFM Scheibe, 1 Stück

939,90 € *

 
 
 

HS Kalibrierstandard für die Z-Achse, 20 nm, 100 nm oder 500 nm

Neben der einfachen Möglichkeit, die Z-Achse bei AFM-Systemen zu überprüfen, bieten sie für große Scanner auch die Überprüfung der X- und Y-Achse für den 40 µm - 100 µm - Bereich. Die Struktursymmetrie erlaubt den Wechsel zwischen der X- und Y-Kalibrierung, ohne die Probe drehen oder neu ausrichten zu müssen. Die Siliziumdioxid-Struktur, mit einer sehr guten Uniformität, befindet sich auf einem 5 mm x 5 mm großen Silizium-Chip. 3 Stufenhöhen sind erhältlich: Nominal 20 nm, 100 nm und 500 nm. Der tatsächliche Wert wird bei der Lieferung dokumentiert. Weitere Strukturen und pitch (Periodizität) sind vorhanden: Ein großes Quadrat mit 1 mm x 1 mm enthält quadratische Säulen und Vertiefungen mit 10 µm pitch (Periodizität). Das kleinere Quadrat mit 500 µm x 500 µm enthält sowohl runde Säulen und Vertiefungen, als auch Linien in X- und Y-Richtung mit 5 µm pitch (Periodizität). Soll der Silizium-Chip auf einem AFM-Probenträger (12 mm Ø) aufgeklebt geliefert werden, so lauten die Artikelnummern:

HS-Kalibrierstandard

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
HS-100MG AFM Kalibrierstandard für die Z-Achse, Stufenhöhe nominal 100 nm

297,10 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
HS-100MG-UM AFM Kalibrierstandard für die Z-Achse, unmontiert, 1 Stück

297,10 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
HS-20MG AFM Kalibrierstandard für die Z-Achse, Stufenhöhe nominal 20 nm

297,10 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
HS-20MG-UM AFM Kalibrierstandard für die Z-Achse, unmontiert, 1 Stück

297,10 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
HS-500MG AFM Kalibrierstandard für die Z-Achse, Stufenhöhe nominal 500 nm

279,10 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
HS-500MG-UM AFM Kalibrierstandard für die Z-Achse, unmontiert, 1 Stück

279,10 € *

 
 
 

AFM Kalibrierstandards für XYZ

Dieser Standard bietet für AFM-Systeme in XY und Z-Richtung einen erweiterten Kalibrierbereich bis in den Nanometer-Bereich. Dieser XYZ-Kalibrierstandard verfügt über Siliziumdioxid-Strukturen auf einem 5 mm x 5 mm großen Silizium-Chip. Die Strukturhöhe beträgt ca. 20 nm, wobei die tatsächliche Höhenangabe bei der Chip-Auslieferung dokumentiert wird. Der Standard SCS- 20NG hat drei verschiedene X-Y Strukturmuster, alle mit der gleichen 20 nm-Höhe. Das große 1 mm x 1 mm Feld beinhaltet quadratische Säulen und Vertiefungen mit 10 µm -pitch (Periodizität). Das mittlere Quadrat beinhaltet runde Säulen, Vertiefungen und Linien mit 5 µm pitch. Das kleine, zentrale Quadrat enthält runde Vertiefungen mit 500 nm-pitch. Dieser SCS-20NG Standard ist sowohl für die laterale, als auch vertikale AFM-Scanner Kalibrierung geeignet. Die Struktursymmetrie erlaubt den Wechsel zwischen X -und Y- Kalibrierung, ohne die Probe drehen zu müssen. Der XYZ-Kalibrierstandard ist mit einem qualitativ hochwertigen leitfähigen Epoxyharz auf einer 12 mm Ø AFM-Scheibe aufgeklebt.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
SCS-20NG AFM XYZ Kalibrierstandard auf 12 mm Ø AFM-Scheibe

868,00 € *

 
 
 

AFM Spitzen- und Auflösungstestobjekt

Ein Mono-Layer von kolloidalen Cobalt-Partikeln ergibt ein exzellentes Substrat für die AFM-Spitzen-Charakterisierung und Instrumentenbedienung. Das obere Schema zeigt die Höhen-Kalibrierung bei 1 nm, das untere Schema 3 nm auf dem Standard. Es kann in Wasser verwendet werden, solange keine Chemikalien vorhanden sind, die mit dem Substrat oder den Cobalt-Partikeln reagieren würden. Verfügbar auf einem 5 mm x 5 mm Silizium-Chip (montiert auf AFM-Edelstahlscheibe oder unmontiert). Eine Spitzen-Charakterisierung bis in den Ångstrombereich kann einfach erreicht werden. Das Testobjekt kann ohne Vorbereitung sofort verwendet werden.

AFM-Spitzen-und-Aufl-sungstestobjekt

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S628 Pelco AFM Spitzen- und Auflösungs-Testobjekt, unmontiert, 1 Stück

179,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S628-AFM Pelco AFM Spitzen- und Auflösungs-Testobjekt, montiert, 1 Stück

189,10 € *

 
 
 

Kreuzgitter-Replika

Kreuzgitter im Winkel von 90° zueinander mit 2160 Linien/mm.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
607-AFM wird ersetzt durch 677-AFM

0,01 € *

wird ersetzt durch 677-AFM
 
Nicht mehr lieferbar.
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
607-STM Kreuzgitter-Replika, 2160 Linien/mm, goldbeschichtet. Unmontiert.

79,90 € *

Kreuzgitter-Replika, 2160 Linien/mm, goldbeschichtet. Unmontiert.
 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
677-AFM AFM-Kreuzgitter Replika mit 2000 Linien/mm auf 12 mm Ø Scheibe

69,90 € *

AFM-Kreuzgitter Replika mit 2000 Linien/mm auf 12 mm Ø Scheibe
 
 
 

PELCO®-AFM-Gold Kalibrierkit

Verwendung von Goldteilchen bekannter Größe zur Charakterisierung der Geometrie der Rasterspitzen, Kalibrierung der vertikalen Maßstabsanzeige und Größenbestimmung angehängter Biomoleküle. Das AFM-Gold-Kalibrierkit besteht aus: AFM-Scheiben-Spender für Scheiben von 15 mm Durchmesser, AFM-Scheiben von 15 mm Durchmesser, nummeriert und mit Glimmerscheiben, von 9,9 mm Durchmesser versehen, in Aufbewahrungsschachtel für 8 AFM-Scheiben Magnetsonde für AFM-Scheiben aus Metall

5 nm Goldkolloid, 500 µl, 15 nm Goldkolloid, 500 µl, 30 nm Goldkolloid, 500 µl, Poly-L-Lysine, 0,1%, 500 µl, Anleitung

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
16200 PELCO-AFM-Gold-Kalibrierkit

99,10 € *

PELCO-AFM-Gold-Kalibrierkit
 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
16205 PELCO-AFM-Gold-Kalibrierkit, wie 16200, jedoch zusätzlich mit 10 nm und 20 nm Goldkolloiden

259,00 € *

PELCO-AFM-Gold-Kalibrierkit, wie 16200, jedoch zusätzlich mit 10 nm und 20 nm Goldkolloiden
 
 
 

Testobjekt zur Charakterisierung der Mikroskop-Leistung

Zur Charakterisierung der Mikroskop-Leistung (HRSEM, Low Voltage STEM, REM/TEM, FIB, AFM) und um die Nanopartikel-Mikroskopie zu demonstrieren, eignet sich das hier folgende Testobjekt.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
NNGV-8 VariGold mit Nanopartikeln 0,8 - 32 nm, unterschiedliche Morphologie, 2 Stück VariGold SmartGrids

338,00 € *

 
 
 

Testobjekte mit Nanopartikeln für Vergrößerungskalibrierungen

Die folgenden Testpräparate tragen „NIST traceable" Goldpartikel (d. h. die Meßwerte sind auf NlST rückführbar). Diese befinden sich auf 34 Fenstern mit 100 µm x 100 µm großen Membranen. Die Mikroskop-Leistung bei HRSEM, Low Voltage STEM, REM/TEM, FIB, AFM kann damit überprüft werden, wie auch Vergrößerungskalibrierungen durchgeführt werden können.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
NNG-10 Vergrößerungstestobjekt mit 10 nm NIST traceable Goldpartikeln, NIST Datenblatt, bestückt mit NP 10

397,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
NNG-30 Vergrößerungstestobjekt mit 30 nm NIST traceable Goldpartikeln, NIST Datenblatt, bestückt mit NP 30

397,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
NNG-60 Vergrößerungstestobjekt mit 60 nm NIST traceable Goldpartikeln, NIST Datenblatt, bestückt mit NP 60

397,00 € *

Vergrößerungstestobjekt mit 60 nm NIST traceable Goldpartikeln, NIST Datenblatt, bestückt mit NP 60
 
 
 

AFM- STM- und SPM - Kalibrier und Testobjekte

Den Block-Testraster für die Z-Achsen-Kalibrierung des SPM und der Linearitätsmessung gibt es mit unterschiedlichen Stufenhöhen. Es handelt sich um ein Si-Waferstückchen mit SiO2 -Auflage für das Raster. 1-dimensional in Z-Achse zu verwenden. Pitch (Perioditizät) der Raster beträgt 3 µm ± 0,01 µm. Das Außenmaß des Si-Chips beträgt 5 mm x 5 mm, die Fläche mit einem effektiven Rasterbereich 3 mm x 3 mm.

AFM-STM-und-SPM-Kalibrier-und-Testobjekte

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S629-10 Kalibrier-Raster TGZ-20, Z = 18,5 nm, Stufenhöhe 21,5 nm ± 1 nm

154,90 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S629-20 Kalibrier-Raster TGZ-100, Z = 108,5 nm, Stufenhöhe 113,5 nm ± 2 nm

154,90 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S629-30 Kalibrier-Raster TGZ-500, Z = 535,5 nm, Stufenhöhe 540 nm ± 3 nm

154,90 € *

 
 
 

TipChecker

Um sich auf die Qualität und die Korrektheit eines Bildes verlassen zu können, ist es unabdingbar zu wissen, ob die AFM–Sonde noch in Ordnung ist. Mit dem TipChecker verfügt man über ein Präparat, welches effizient Aussagen über den Spitzenzustand (Spitzenscheitel, Form, Schärfe) treffen lässt. Bereits bei einer Scan–Linie kann man den Unterschied von Spitzenqualitäten deutlich erkennen. In den Bildern wurde jeweils ein Scan von 1 x 1 µm durchgeführt, die Höhe beträgt 100 nm. Der BudgetSensors TipChecker besteht aus einem strapazierfähigen Dünnfilm mit granularen, scharfkantigen Nanostrukturen. Die Größe beträgt 5 mm x 5 mm und wird auf einer magnetischen 12 mm Ø AFM–Scheibe geliefert. Er kann in Kombination mit der auf dem Markt befindlichen „Auto Tip Qualification“- und „Tip Characterization“–Software verwendet werden.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
TC1 BudgetSensors TipChecker für AFM-Sonden

266,00 € *

BudgetSensors TipChecker für AFM-Sonden
 
 
 

Test-Raster für Spitzen-Schärfe

Dieses Raster TGTZ-400 ist für die 3-D-Visualisierung der Scan-Spitze, der Bestimmung der Spitzen-Schärfe-Parameter, Spitzen-Abnutzung und Kontaminierungsprüfung vorgesehen. Silizium-Chip mit Raster, bestehend aus scharfen Spitzen. Spitzenwinkel ca. 50°, Kantenradius ≤ 10 nm, Höhe der Spitzen 0,3 - 0,7 µm, Pitch (Periodizität) 3 µm ± 0,01 µm, diagonale Pitch 2,12 µm. Das Außenmaß des Si-Chips beträgt 5 mm x 5 mm x 0,5 mm, die Fläche mit dem effektiven Rasterbereich 2 mm x 2 mm.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S629-50 Test-Raster TGTZ-400, 300 - 700 nm Spitzen

299,10 € *

Test-Raster TGTZ-400, 300 - 700 nm Spitzen
 
 
 

Test-Raster für die laterale Kalibrierung

Das TG3D-3000/600-Raster mit seinem 3-dimensionalen Muster ist für die laterale Kalibrierung des SPM-Scanners, der Erkennung der lateralen Linearitätsabweichung, Hysterese, Kreuz-Kopplungseffekte und Bestimmung der Seitenverhältnisse der Spitze bestimmt. Silizium-Chip mit schachbrettartigem Raster, bestehend aus quadratischen Säulen mit scharfen, unterschnittenen Kanten. Die Höhe beträgt 0,3 - 0,6 µm, die Plateau-Oberfläche beträgt 1,2 µm x 1,2 µm, der Kantenradius ≤ 10 nm. Die Periodizität beträgt 3 µm ± 0,05 µm. Das Raster befindet sich auf dem 5 mm x 5 mm Si-Chip in der Mitte über einen Bereich von 3 mm x 3 mm.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S629-60 Test-Raster TG3D - 3000/600, Säulen

299,10 € *

Test-Raster TG3D - 3000/600, Säulen
 
 
 

Dreieck - Test-Raster für X- oder Y-Achse

Dieses Raster ist für die SPM-Kalibrierung in X-oder Y-Achse, Bestimmung der lateralen und vertikalen Scanner Linearitätsabweichung, des Findens von Winkelverzeichnungen und Spitzen-Charakterisierung vorgesehen.

Silizium-Chip mit 1-dimensionalem Raster mit dreieckigen Erhöhungen mit präzisen linearen und winkeligen Abmessungen. Spitzenwinkel 70°, Kantenradius ≤ 10 nm, Höhe der Dreiecksstufen 1,5 µm, Pitch (Periodizität) 3 µm ± 0,01 µm. Das Außenmaß des Si-Chips beträgt 5 mm x 5 mm x 0,5 mm, die Fläche mit einem effektiven Rasterbereich 3 mm x 3 mm.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S629-40 Test-Raster TGT-1500, Höhe 1,5 µm, 1 Stück

299,10 € *

Test-Raster TGT-1500, Höhe 1,5 µm, 1 Stück
 
 
 

Test-Raster für die X-Y- und Z-Richtung

Das TG3D-3000/20 Test-Raster mit seinen 3-dimensionalen Struktur ist für die simultane Kalibrierung in X-Y- und Z-Richtung, laterale Kalibrierung von SPM-Scannern und Detektierung von lateraler Nicht-Linearität, Hysterese und Cross-Coupling-Effekten bestimmt. Silizium-Chip mit einer SiO2 -Schicht für das Raster. Das 3-dimensionale Muster besteht aus kleinen Quadraten mit 20 nm ± 1,5 nm. Periodizität 3 µm ± 0,5 µm. Das Raster befindet sich auf dem 5 mm x 5 mm Si-Chip in der Mitte über einen Bereich von 3 mm x 3 mm. Bemerkung : Die Präzision der Höhe basiert auf den Messungen von 5 Rastern und zufällig ausgewählt aus einer Serie von 300 Rastern auf einem von der PTB zertifizierten TGZ-20 Raster (mit einem kalibrierten SPM). Die Stufenhöhe kann von der spezifizierten Höhe innerhalb 10 % abweichen (Beispiel: 22 nm ± 1,5 nm).

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S629-70 Test-Raster TG3D - 3000/20, Quadrate

519,00 € *

Test-Raster TG3D - 3000/20, Quadrate
 
 
 

SiC-STEP Kalibrierobjekt

Dieses auf 6H-SiC <0001> basierende Testobjekt wurde entwickelt, um vertikale Bewegungen des AFM-Scanners in Nanometer-Intervallen überprüfen zu können. Die uniforme Anordnung der halben Monolayer–Stufen (entweder 0,75 nm oder 1,5 nm) entspricht der halben Gitterebenenabstand-Konstante des 6H-SiC-Kristalles in der <0001> - Richtung. Die Gesamtgröße des Chips beträgt 5 mm x 5 mm x 0,3 mm.

 
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