MetroChip – Multi-Kalibriertestobjekt

Der MetroChip bietet für die Kalibrierung von REM, FIB, AFM, Lichtmikroskopie und Mess-Systemen eine Vielfalt an Strukturen auf einem einzelnen Substrat. Die Außenmaße des Chips sind 20 mm x 20 mm x 750 µm dick. Die Kalibriermaße reichen von 4 mm bis hinunter zu 100 nm. Sie befinden sich eingeätzt in einer polykristallinen Silikonschicht von 150 nm ± 10 %, die sich auf einer dünnen Siliziumoxidschicht (ca. 2,5 nm – 3 nm) befindet, die wiederum auf einem Siliziumsubstrat aufliegt. Da sich sehr viele Strukturen auf dem MetroChip befinden, fordern Sie Details gerne an, die wir Ihnen auf separatem Wege zukommen lassen.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
632 MetroChip

987,00 € *

MetroChip