"CRITICAL DIMENSION" CD-Kalibrierstrukturen 10-5-2-1-0,5 µm

Die CD-Kalibrierstrukturen sind neben allgemeinen Anwendungen von speziellem Interesse für Mikroskopanwender und Prüfingenieure, die mit Hochleistungs-REM oder Atomkraftmikroskopen Messungen von kritischen Distanzen durchführen (zum Beispiel Halbleiter-Industrie). Der 4,8 mm x 4,5 mm große Standard aus Silizium zeigt ein Schachbrett-Muster mit einer Seitenlänge von jeweils 480 µm. Dieses kann verwendet werden, um die Bildparameter zu optimieren und Verzerrungen zu kontrollieren. Auf dem Standard befindet sich zentral eine Serie von Mustern mit jeweils 5 Linien (Tiefe ca. 150 nm), jedes Muster gekennzeichnet mit seinem „pitch“ (Periodizität): 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm und 0,5 µm. Jeder Standard ist mit seiner eigenen individuellen Seriennummer versehen. Dieser Standard ist auch durch die PTB zertifiziert erhältlich. Gemessen werden jeweils die „pitch“-Maße: Die jeweils mittlere Linie eines Musters („rechte Schulter“) bis zur nächsten „rechten Schulter“ der folgenden Linie.

CRITICAL-DIMENSION-CD-Kalibrierstrukturen

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1995A CD Kalibrierstrukturen, 10-5-2-1-0,5 µm, nicht zertifiziert

57,60 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1997A CD Kalibrierstrukturen, 10-5-2-1-0,5 µm, PTB zertifiziert

984,00 € *