Warenkorb
0 | 0,00 €*
Positionen anzeigen
 
 
 

06441  9765-0

 
Kontakt
  • Tel:+49 (0) 6441 97650
  • Fax:+49 (0) 6441 976565
  • E-Mail: plano@plano-em.de
 

Testobjekte/ Gitter

PLANOTEC-Silizium-Testobjekt mit 10 µm - – pitch Gitter

Dieses Testobjekt aus einkristallinem Silizium ist 5 mm x 5 mm groß (Ausnahme ist das S1930SP mit 10 mm x 10 mm Kantenlänge) und weist durch Elektronenstrahl geformte, klar sichtbare Quadrate mit einer Periodizität (pitch) von 9,87 µm ± 0,05 µm auf. Die im Bild sichtbaren Linien sind Gräben mit einer Tiefe von ca. 300 nm (kann bei einer neuen Charge von diesem Wert etwas abweichen). Die Trennlinien sind etwa 1,9 µm breit; breiter und vorteilhaft für die Lichtmikroskopie sind Markierungslinien im Abstand von 500 µm. Es eignet sich bestens zum Vergrößerungsvergleich und zur Feststellung von Bildverzeichnungen, insbesondere auch bei automatisierten Zähleinrichtungen. Wo kritische Messungen ausgeführt werden müssen, kann die Probe direkt auf das Silizium-Quadrat montiert werden; somit ist der Maßstab auf der Abbildung zu sehen.

 PLANOTEC-Silizium-Testobjekt-mit-10-um-pitch-Gitter

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1930 PLANOTEC-Silizium-Testobjekt, 5 mm x 5 mm, unmontiert

29,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1930SP PLANOTEC-Silizium-Testobjekt, 10 mm x 10 mm, unmontiert

49,60 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1931 PLANOTEC-Silizium-Testobjekt 5 mm x 5 mm, unmontiert, 10 Stück

282,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1932 PLANOTEC-Silizium-Testobjekt, auf ½-Zoll-Teller mit 8mm Stift

31,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1933B PLANOTEC-Silizium-Testobjekt, montiert auf ISI/ABT-Probenteller

31,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1933C PLANOTEC-Silizium-Testobjekt, montiert auf HITACHI-Probenteller

31,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1933D PLANOTEC-Silizium-Testobjekt, auf JEOL-Probenteller 10 mm Ø

31,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1933E PLANOTEC-Silizium-Testobjekt, auf JEOL -Probenteller 12,5 mm Ø

31,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1933F PLANOTEC-Silizium-Testobjekt, montiert auf 12,5 mm Probenteller mit 6mm Stift

31,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1934 PLANOTEC-Silizium-Testobjekt, auf Metall-Objektträger

38,80 € *

 
 
 

Eichzertifikat

Für die PLANOTEC-Silizium-Testobjekte (ab S1932) kann folgendes Eichzertifikat geliefert werden:

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1962 Zertifikat der Fa. AGAR Scientific für Siliziumtestobjekt (S1932ff.)

391,00 € *

 
 
 

Pelcotec G1 - Silizium-Kalibrierungs-Testobjekt mit 1 µm - pitch Gitter - allg. Beschreibung

Das G-1 Kalbrierungs-Testobjekt mit 1 µm pitch (Periodizität) ist sehr geeignet für die Vergrößerungskalibrierung und Überprüfung der Bildverzerrung in dem Bereich der Vergrößerung von x100 bis x10.000. Es kann im REM, FIB und Lichtmikroskop verwendet werden. Zudem kann ein Präparat, zum Beispiel Pulver, direkt auf das G-1 aufgebracht werden. Die Siliziumchip-Größe beträgt 4 mm x 4 mm bei einer Dicke von 525 µm +/- 10 µm, Orientierung <100>, Bor dotiert, mit einem Widerstand von 5 – 10 Ohm/cm. Der Kalibrierbereich hat eine Größe von 3 mm x 3 mm mit einem 1 µm – pitch. Um die Orientierung zu erleichtern, sind die 10 µm und 100 µm – Linien dicker. Die 300 nm +/- 30 nm tiefen Linien sind einem ultra-flachen Siliziumchip eingeätzt. Die Linienbreite beträgt 200 nm bei der 1 µm – Struktur, 300 nm bei 10 µm und 400 nm bei der 100 µm – Linie.

Die Präzision ist 1 µm +/- 0,025 µm bei einer Abweichung zur Senkrechten von unter 0,01°. Jedes Testobjekt trägt seine eigene Seriennummer. Die auf NIST (National Institute of Standards) rückführbare Version ist das Pelcotec™ G-1T, die individuell voll zertifizierte Version (auf NIST rückführbar) ist das Pelcotec™ G-1C.

Pelcotec™ G-1T 1 µm pitch - Gitter, auf NIST rückführbar

Pelcotec-TM-G-1T-1-um-pitch-Gitter-auf-NIST-r-ckf-hrbar                                NIST

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-1 Pelcotec G-1T 1 µm - pitch - Gitter, auf NIST rückführbar

99,90 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-1A Pelcotec G1-T 1 µm pitch-Gitter, montiert auf Stiftprobenteller 12,7mm Ø, 3,2mm Ø x 8mm Stift

118,90 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-1C Pelcotec G-1 T 1 µm-pitch-Gitter, montiert auf Jeol-Probenträger 9,5mm Ø x 9,5mm hoch

118,90 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-1E Pelcotec G-1 T 1 µm-pitch-Gitter, montiert auf Jeol-Probenträger 15mm Ø x 10mm hoch

118,90 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-1F Pelcotec G-1T 1 µm-pitch-Gitter, montiert auf Stiftprobenteller 12,7mm Ø, 3,2mm Ø x 6mm Stift

118,90 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-1K Pelcotec G-1T 1 µm-pitch-Gitter, montiert auf Hitachi M4-Träger 15mm Ø x 6mm hoch

118,90 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-1L Pelcotec G-1 T 1 µm-pitch-Gitter, montiert auf Hitachi M4-Träger 25mm Ø x 6mm hoch

118,90 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-1R Pelcotec G-1T 1 µm-pitch-Gitter, montiert auf Stiftprobenteller 25,4mm Ø, 9,5 mm Stiftlänge

118,90 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-1S Pelcotec G-1 T 1 µm-pitch-Gitter, montiert auf Mirkoskop-Objektträger 75mm x 25mm

118,90 € *

 
 
 

Pelcotec™ G-1C 1 µm pitch - Gitter, individuell voll zertifzierte Version auf NIST rückführbar

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-11 Pelcotec G-1 C 1 µm - pitch - Gitter, individuell zertif. Version auf NIST rückf.

699,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-11A Pelcotec G-1 C 1 µm-pitch-Gitter, ind. zert. auf 12,7mm Ø St.-Pr.-Träger, 3,2mm Ø x 8mm Stift

738,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-11C Pelcotec G-1 C 1 µm-pitch-Gitter, ind. zert. auf Jeol-Probenträger 9,5 mm Ø x 9,5 mm hoch

738,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-11E Pelcotec G-1 C 1 µm-pitch-Gitter, ind. zert. auf Jeol-Probenträger 15 mm Ø x 10 mm hoch

738,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-11F Pelcotec G-1 C 1 µm-pitch-Gitter, ind. zert. auf 12,7 mm Ø St.-Pr.-Träger, 3,2mm Ø x 6mm Stift

738,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-11K Pelcotec G-1 C 1 µm-pitch-Gitter, ind. zert. auf Hitachi M4-Probenträger 15 mm Ø x 6 mm hoch

738,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-11L Pelcotec G-1 C 1 µm-pitch-Gitter, ind. zert. auf Hitachi M4-Probenträger 25 mm Ø x 6 mm hoch

738,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-11R Pelcotec G-1 C 1 µm-pitch-Gitter, ind. zert. auf 25,4 mm Ø St.-Pr.-Träger, 9,5 mm Stift

738,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
633-11S Pelcotec G-1 C 1 µm-pitch-Gitter, ind. zert. auf Mikroskop-Objektträger 76 mm x 25 mm

738,00 € *

 
 
 

CHESSY-Testobjekt

Mehr als 1,6 Millionen Quadrate aus Gold mit 1 µm Kantenlänge ergeben auf einer Siliziumunterlage ein vierfach ineinander verschachteltes Schachbrettmuster mit Außenabmessungen von 5 mm. Die Gesamtgröße ist 1 cm². Das kleinste Schachbrett hat eine Größe von 10 µm x 10 µm, dieses wiederum erzeugt ein Schachbrett von 100 µm x 100 µm und dieses eines von 1 mm x 1 mm Größe. Letztlich füllen diese ein Feld von 5 mm x 5 mm. Ein Rahmen um dieses Feld von 10 µm Breite hat eine Außenkantenlänge von 5,04 mm. Die Genauigkeit der Maße ist < 200 nm. Die Orthogonalität ist < 1 Bogensekunde. Dieses Testobjekt dient im Rasterelektronenmikroskop zur Vergrößerungskalibrierung im Bereich von x 20 bis x 50.000, zur Überprüfung von Bildverzerrungen und zur Abschätzung des Auflösungsvermögens an den Kanten der Goldquadrate.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S171 CHESSY-Testobjekt

854,60 € *

 
 
 

Rezertifizierung des SIRA-Testobjektes S170

Zertifizierte Testobjekte aus Silizium benötigen eigentlich keine Rekalibrierung in zeitlich kurzen Abständen. Gerne stehen wir Ihnen aber für Anfragen darüber zur Verfügung. Das früher sehr gerne verwendete SIRA Testobjekt (PLANO Artikelnummer S170; 2160 L/mm) wird leider nicht mehr hergestellt. Sollten Sie aber über ein SIRA-Testobjekt verfügen, so ist dies noch (zum Zeitpunkt Anfang 2016) rekalibrierbar. Voraussetzung ist, dass das Testobjekt noch in einem guten Zustand = rekalibrierbar sein muss.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1960 Zertifikat für gestelltes SIRA Testobjekt S170 2160 Linien/mm

391,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1961 Zertifikat für gestelltes SIRA Testobjekt S170 19,7 Linien/mm

391,00 € *

 
 
 

"CRITICAL DIMENSION" CD-Kalibrierstrukturen 10-5-2-1-0,5 µm

Die CD-Kalibrierstrukturen sind neben allgemeinen Anwendungen von speziellem Interesse für Mikroskopanwender und Prüfingenieure, die mit Hochleistungs-REM oder Atomkraftmikroskopen Messungen von kritischen Distanzen durchführen (zum Beispiel Halbleiter-Industrie). Der 4,8 mm x 4,5 mm große Standard aus Silizium zeigt ein Schachbrett-Muster mit einer Seitenlänge von jeweils 480 µm. Dieses kann verwendet werden, um die Bildparameter zu optimieren und Verzerrungen zu kontrollieren. Auf dem Standard befindet sich zentral eine Serie von Mustern mit jeweils 5 Linien (Tiefe ca. 150 nm), jedes Muster gekennzeichnet mit seinem „pitch“ (Periodizität): 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm und 0,5 µm. Jeder Standard ist mit seiner eigenen individuellen Seriennummer versehen. Dieser Standard ist auch durch die PTB zertifiziert erhältlich. Gemessen werden jeweils die „pitch“-Maße: Die jeweils mittlere Linie eines Musters („rechte Schulter“) bis zur nächsten „rechten Schulter“ der folgenden Linie.

CRITICAL-DIMENSION-CD-Kalibrierstrukturen

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1995A CD Kalibrierstrukturen, 10-5-2-1-0,5 µm, nicht zertifiziert

57,60 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1997A CD Kalibrierstrukturen, 10-5-2-1-0,5 µm, PTB zertifiziert

984,00 € *

 
 
 

PLANOTEC Kalibrierstruktur 500-200-100 nm

Die PLANOTEC Kalibrierstruktur hat einen der CD-Kalibrierstruktur entsprechenden Aufbau. Im Zentrum des leicht zu identifizierbaren Zielkreuzes befinden sich Gruppen von je 5 erhabenen Linien mit einem „pitch“-Maß (Periodizität) von 500 nm - 200 nm - 100 nm. Bei der 100 nm-Struktur kann es vorkommen, dass eine der 5 Linien nicht geschrieben wurde. Dies ist aber leicht erkennbar und macht das Testobjekt deswegen nicht unbrauchbar. Die Höhe der Linien beträgt ca. 45 - 50 nm. Dieses Testobjekt ist leider nicht mehr PTB-zertifiziert erhältlich.

Kalibrierstruktur

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
S1998 PLANOTEC Kalibrierstruktur, 500 nm - 200 nm - 100 nm, nicht zertifiziert

397,00 € *

 
 
 

REM-Titan-Testobjekt 292 nm (nominell) für hohe Vergrößerungen, Hochauflösung

Kalibrierstandard für AFM, REM, Auger und FIB. Dieses titanbeschichtete Testobjekt (auf Siliziumsubstrat) mit periodischen Strukturen von nominal 292 nm wurde mit holographischen Methoden hergestellt. Es ergibt hohen Kontrast und ist sehr stabil. Die genauen Maße liegen jedem Testobjekt bei (das Bildbeispiel zeigt ein pitch-Maß von 292 nm). Die Genauigkeit der Maße beträgt ± 1 %. Es kann mit Beschleunigungsspannungen von 1 kV bis 30 kV verwendet werden und dient zur Überprüfung der Vergrößerung im Bereich von x 5000 bis x 200.000. Die Höhe der Linien beträgt ca. 30 nm und die Linienbreite ca. 130 nm (beide Maße sind nicht kalibriert).

REM-Titan-Testobjekt-292

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
643-1 REM-Titan-Testobjekt, 1 Stück

1.698,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
643-11 REM-Titan-Testobjekt, mit Kalibrierschein der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt PTB

2.892,00 € *

 
 
 

145 nm Pitch Referenz-Standard für AFM

Die Aluminium-Linien auf einem Glassubstrat (4 mm x 6 mm) mit periodischen Strukturen von nominal 145 nm wurden mit holographischen Methoden hergestellt. Die genauen Maße liegen jedem Testobjekt bei. Die Linien-Höhe beträgt ca. 100 nm, die Linienbreite beträgt ca. 75 nm (beide Maße sind nicht kalibriert). Der Bereich mit dem Muster bedeckt den gesamten Standard und erlaubt somit sehr viele Messungen, ohne dass ein Bereich wiederholt verwendet werden muss, der durch eine Messung evtl. beschädigt wurde. Die Genauigkeit der Maße beträgt ± 1 nm. Wird für AFM benötigt und ist für Kontakt-, Tapping- und weitere AFM-Methoden anwendbar, bei Bildgrößen von 250 nm bis 10 µm.

145-nm-Pitch-Referenz-Standard

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
642-1 145 nm Pitch, unmontiert, 1 Stück

939,90 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
642-1AFM 145 nm Pitch, montiert auf 12 mm AFM Scheibe, 1 Stück

939,90 € *

 
 
 

MetroChip – Multi-Kalibriertestobjekt

Der MetroChip bietet für die Kalibrierung von REM, FIB, AFM, Lichtmikroskopie und Mess-Systemen eine Vielfalt an Strukturen auf einem einzelnen Substrat. Die Außenmaße des Chips sind 20 mm x 20 mm x 750 µm dick. Die Kalibriermaße reichen von 4 mm bis hinunter zu 100 nm. Sie befinden sich eingeätzt in einer polykristallinen Silikonschicht von 150 nm ± 10 %, die sich auf einer dünnen Siliziumoxidschicht (ca. 2,5 nm – 3 nm) befindet, die wiederum auf einem Siliziumsubstrat aufliegt. Da sich sehr viele Strukturen auf dem MetroChip befinden, fordern Sie Details gerne an, die wir Ihnen auf separatem Wege zukommen lassen.

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
632 MetroChip

987,00 € *

MetroChip
 
 
 

Silizium Finder Substrat

Das innovative Pelcotec SFG12 Finder-Substrat ist ein flacher, leitfähiger Siliziumträger mit einer Größe von 12,5 mm x 12,5 mm. Er ist mit einem 1 mm x 1 mm-Raster versehen, welches 12 x 12 = 144 Felder ergibt. Jedes Feld besitzt eine individuelle, alphanumerische Kennzeichnung. Die Linien und Kennzeichnungen wurden mit Hilfe eines Präzisionslasers in die Siliziumoberfläche eingebracht. Es ist die beste Kombination zwischen einem flachen Substrat und einer REM Finder-Netzstruktur.

Dieses einzigartige Produkt hat Ähnlichkeiten mit einem gravierten REM-Probenhalter, besticht aber durch eine Vielzahl weiterer Vorteile:

·         Flach – keine Höhendifferenzen

·         Eine feine Struktur über eine große Fläche hinweg, die besser definiert ist, als bei einem gravierten REM-Probenhalter

·         Niedriges Hintergrundsignal – ebenso wie bei Siliziumchip-Substraten

·         Für EDX Analysen nur ein Element (Si)

·         Praktisch und einfach zu navigieren – 1 mm Abstand mit 144 Feldern

·         Muster ist sichtbar mit dem bloßem Auge, unter dem Stereomikroskop und im REM

·         Zeigt bei sehr kleiner Vergrößerung eine ungefähre (Proben-)Größe.

·         Kann einfach auf die meisten gängigen REM-Probenträger aufgebracht werden

·         Kann im REM, FIB, XPS/ESCA, Auger und unter dem Lichtmikroskop (Auflicht) benutzt werden.

 

Spezifikationen des Silizium Substrates

P Bor dotiert, <100> Orientierung,

Widerstand:  0,5-35 Ohm/cm     

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
21480 Pelcotec SFG12 Finder-Substrat, 12,5mm x 12,5mm, 1 Stück

26,90 € *

Pelcotec SFG12 Finder-Substrat, 12,5mm x 12,5mm, 1 Stück
 
 
 

Kalibrier-Objektträger

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
L4492PS Kalibrier-Objektträger (ohne Zertifikat)

398,80 € *

Kalibrier-Objektträger (ohne Zertifikat)

Bild vergrößern

 
 
 
 
zum Seitenanfang