Pelcotec™ Critical Dimension Vergrößerungsstandard

Das Testobjekt besteht aus einem 2,5 mm x 2,5 mm ultra-flachen Silizium-Substrat mit einer präzisen 50 nm Chrom-Auflage, welche die Strukturen bis 5 µm ermöglichen und einer Kombination von einer 50 nm Goldschicht auf 20 nm Chrom für die Strukturen von 2 µm bis 100 nm. Das Chrom und Gold/Chrom zeigen einen exzellenten Kontrast im Sekundär- als auch Rückstreuelektronen-Modus. Dieses Testobjekt kann mit Zertifikat geliefert werden, welches auf ein NIST-Zertifikat (National Institute of Standards) zurückgeführt werden kann. Es kann in einem Plasma-Cleaner gereinigt werden. Die Serie Pelcotec™ CDMS-1T ist für die Strukturen 2,0 mm bis 1 µm zurückführbar auf NIST. Dieser Bereich ermöglicht Vergrößerungen x10 bis x20.000. Die Serie Pelcotec™ CDMS-0.1Tist für die Strukturen 2,0 mm bis 100 nm zurückführbar auf NIST. Dieser Bereich ermöglicht Vergrößerungen x10 bis x200.000. Aus der Serie Pelcotec™ CDMS-1Csind die einzelnen Standards für die Strukturen 2,0 mm bis 1 µm gegen einen NIST-Standard zertifiziert. Dieser Bereich ermöglicht Vergrößerungen x10 bis x20.000. Aus der Serie Pelcotec™ CDMS-0.1C sind die einzelnen Standards für die Strukturen 2,0 mm bis 100 nm gegen einen NIST- Standard zertifiziert. Dieser Bereich ermöglicht Vergrößerungen x10 bis x200.000.

 Pelcotec Pelcotec2

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
682-1 Pelcotec CDMS-1T, 2 mm - 1 µm, auf NIST rückführbar, unmontiert

79,10 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
682-1A CDMS-1T, 2 mm - 1 µm, auf NIST rückführbar, montiert auf Stiftprobenteller (8 mm Stiftlänge)

89,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
682-1C CDMS-1T, 2 mm - 1 µm, auf NIST rückführbar, montiert auf Jeol-Probenträger 9,5 mm Ø x 9,5 mm

89,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
682-1F CDMS-1T, 2 mm - 1 µm, auf NIST rückführbar, montiert auf Stiftprobenteller (6mm Stiftlänge)

89,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
682-1K CDMS-1T, 2 mm - 1 µm, auf NIST rückführbar, montiert auf Hitachi-Probenträger (M4) 15 mm Ø x 6 mm

89,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
683-1 Pelcotec CDMS-0.1T, 2 mm - 100 nm, auf NIST rückführbar, unmontiert

459,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
683-1A CDMS-0.1T, 2 mm - 100 nm, auf NIST rückführbar, montiert auf Stiftprobenteller (8 mm Stiftlänge)

459,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
683-1C CDMS-0.1T, 2 mm - 100 nm, auf NIST rückführbar, montiert auf Jeol-Probenträger 9,5 mm Ø x 9,5 mm

459,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
683-1F CDMS-0.1T, 2 mm - 100 nm, auf NIST rückführbar, montiert auf Stiftprobenteller (6mm Stiftlänge)

459,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
683-1K CDMS-0.1T, 2 mm - 100 nm, auf NIST rückführbar, montiert auf Hitachi-Probenträger (M4) 15mm Ø x 6mm

459,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
686-1 Pelcotec CDMS-1C, 2 mm - 1 µm, individuell auf NIST rückgeführt, unmontiert

712,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
686-1A CDMS-1C, 2 mm - 1 µm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf Stiftprobenteller (8 mm Stift)

726,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
686-1C CDMS-1C, 2 mm - 1 µm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf Jeol-Probentr. 9,5mm Ø x 9,5mm

726,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
686-1F CDMS-1C, 2 mm - 1 µm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf Stiftprobenteller (6mm Stift)

726,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
686-1K CDMS-1C, 2 mm - 1 µm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf Hitachi-P. (M4) 15mm Ø x 6mm

726,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
687-1 Pelcotec CDMS-0.1C, 2 mm - 100 nm, individuell auf NIST rückgeführt, unmontiert

998,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
687-1A CDMS-0.1C, 2 mm - 100 nm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf St.-Probenteller (8mm Stif

1.021,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
687-1C CDMS-0.1C, 2 mm - 100 nm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf Jeol-Probenträger 9,5 mm

1.021,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
687-1F CDMS-0.1C, 2 mm - 100 nm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf Stiftprobenteller (6mm Sti

1.021,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
687-1K CDMS-0.1C, 2 mm - 100 nm, individuell auf NIST rückgeführt, mont. auf Hitachi-Probenträger (M4) 15

1.021,00 € *