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Pelcotec™ CDMS (2µm bis 100 nm)

Pelcotec™ Critical Dimension Vergrößerungsstandard

Das Testobjekt besteht aus einem 2,5 mm x 2,5 mm ultra-flachen Silizium-Substrat mit einer präzisen 50 nm Chrom-Auflage, welche die Strukturen bis 5 µm ermöglichen und einer Kombination von einer 50 nm Goldschicht auf 20 nm Chrom für die Strukturen von 2 µm bis 100 nm. Das Chrom und Gold/Chrom zeigen einen exzellenten Kontrast im Sekundär- als auch Rückstreuelektronen-Modus. Dieses Testobjekt kann mit Zertifikat geliefert werden, welches auf ein NIST-Zertifikat (National Institute of Standards) zurückgeführt werden kann. Es kann in einem Plasma-Cleaner gereinigt werden. Die Serie Pelcotec™ CDMS-1T ist für die Strukturen 2,0 mm bis 1 µm zurückführbar auf NIST. Dieser Bereich ermöglicht Vergrößerungen x10 bis x20.000. Die Serie Pelcotec™ CDMS-0.1Tist für die Strukturen 2,0 mm bis 100 nm zurückführbar auf NIST. Dieser Bereich ermöglicht Vergrößerungen x10 bis x200.000. Aus der Serie Pelcotec™ CDMS-1Csind die einzelnen Standards für die Strukturen 2,0 mm bis 1 µm gegen einen NIST-Standard zertifiziert. Dieser Bereich ermöglicht Vergrößerungen x10 bis x20.000. Aus der Serie Pelcotec™ CDMS-0.1C sind die einzelnen Standards für die Strukturen 2,0 mm bis 100 nm gegen einen NIST- Standard zertifiziert. Dieser Bereich ermöglicht Vergrößerungen x10 bis x200.000.

 Pelcotec Pelcotec2

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
682-1 Pelcotec CDMS-1T, 2 mm - 1 µm, auf NIST rückführbar, unmontiert

79,10 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
682-1A CDMS-1T, 2 mm - 1 µm, auf NIST rückführbar, montiert auf Stiftprobenteller (8 mm Stiftlänge)

89,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
682-1C CDMS-1T, 2 mm - 1 µm, auf NIST rückführbar, montiert auf Jeol-Probenträger 9,5 mm Ø x 9,5 mm

89,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
682-1F CDMS-1T, 2 mm - 1 µm, auf NIST rückführbar, montiert auf Stiftprobenteller (6mm Stiftlänge)

89,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
682-1K CDMS-1T, 2 mm - 1 µm, auf NIST rückführbar, montiert auf Hitachi-Probenträger (M4) 15 mm Ø x 6 mm

89,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
683-1 Pelcotec CDMS-0.1T, 2 mm - 100 nm, auf NIST rückführbar, unmontiert

459,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
683-1A CDMS-0.1T, 2 mm - 100 nm, auf NIST rückführbar, montiert auf Stiftprobenteller (8 mm Stiftlänge)

459,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
683-1C CDMS-0.1T, 2 mm - 100 nm, auf NIST rückführbar, montiert auf Jeol-Probenträger 9,5 mm Ø x 9,5 mm

459,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
683-1F CDMS-0.1T, 2 mm - 100 nm, auf NIST rückführbar, montiert auf Stiftprobenteller (6mm Stiftlänge)

459,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
683-1K CDMS-0.1T, 2 mm - 100 nm, auf NIST rückführbar, montiert auf Hitachi-Probenträger (M4) 15mm Ø x 6mm

459,80 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
686-1 Pelcotec CDMS-1C, 2 mm - 1 µm, individuell auf NIST rückgeführt, unmontiert

712,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
686-1A CDMS-1C, 2 mm - 1 µm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf Stiftprobenteller (8 mm Stift)

726,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
686-1C CDMS-1C, 2 mm - 1 µm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf Jeol-Probentr. 9,5mm Ø x 9,5mm

726,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
686-1F CDMS-1C, 2 mm - 1 µm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf Stiftprobenteller (6mm Stift)

726,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
686-1K CDMS-1C, 2 mm - 1 µm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf Hitachi-P. (M4) 15mm Ø x 6mm

726,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
687-1 Pelcotec CDMS-0.1C, 2 mm - 100 nm, individuell auf NIST rückgeführt, unmontiert

998,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
687-1A CDMS-0.1C, 2 mm - 100 nm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf St.-Probenteller (8mm Stif

1.021,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
687-1C CDMS-0.1C, 2 mm - 100 nm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf Jeol-Probenträger 9,5 mm

1.021,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
687-1F CDMS-0.1C, 2 mm - 100 nm, individuell auf NIST rückgeführt, montiert auf Stiftprobenteller (6mm Sti

1.021,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
687-1K CDMS-0.1C, 2 mm - 100 nm, individuell auf NIST rückgeführt, mont. auf Hitachi-Probenträger (M4) 15

1.021,00 € *

 
 
 

Pelcotec™ Vergrößerungsstandard LMS-20 für niedrige Vergrößerungen x5 bis x1000

Dieser Pelcotec™ Vergrößerungsstandard LMS-20 wurde speziell für die präzise Kalibrierung von niedrigen Vergrößerungen entwickelt, wie sie bei Partikelanalysen großer Flächen, Schmauchspuren-analyse im Rasterelektronenmikroskop, aber auch für Anwendungen mit dem Lichtmikroskop vorkommen. Das Pelcotec™ LMS-20 kann von x5 bis x1000 Vergrößerung sinnvoll eingesetzt werden.

Der Kalibrierbereich beträgt 20 mm x 10 mm mit gekreuzten Linien und Unterteilungen in 10 µm – Schritte. Diese 10 µm - Unterteilungen entlang der zentralen X und Y – Achsenline bestehen aus 200 nm breiten Chrom–Linien auf einem ultraflachen Siliziumchip (22 mm x 11 mm, Dicke 525 µm +/- 10 µm, Orientierung , Bor dotiert, mit einem Widerstand von 5 – 10 Ohm/cm). Über die X und Y – Achse zeigen größere Linien 0,5 mm bzw. 1 mm Abstände an. In den Quadranten sind kleine Kreuzchen (für den 0,1 mm Abstand) und größere Kreuze (für den 1,0 mm Abstand) als Orientierungshilfe vorhanden. Eine Seriennummer ist auf jedem einzelnen Testobjekt aufgebracht. Die auf NIST (National Institute of Standards) rückführbare zertifizierte Version ist Pelcotec™ LMS-20T, die vollständig individuell zertifizierte Version (auf NIST rückführbar) ist Pelcotec™ LMS-20C.

Pelcotec™ Standard LMS-20T

für niedrige Vergrößerungen, auf NIST rückführbar

Pelcotec-TM-Standard-LMS-20T-f-r-niedrige-Vergr-sserungen-auf-NIST-r-ckf-hrbar

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
688-1 Pelcotec LMS-20T, auf NIST rückführbar, unmontiert

199,10 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
688-1G Pelcotec LMS-20T, auf NIST rückführbar, auf gestelltem Probenträger

326,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
688-1L Pelcotec LMS-20T, auf NIST rückführbar, auf Hitachi Probenträger (M4), 25 mm Ø x 6 mm

228,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
688-1O Pelcotec LMS-20T, auf NIST rückführbar, montiert auf Cambridge S4-Probenträger

228,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
688-1R Pelcotec LMS-20T, auf NIST rückführbar, montiert auf großem Stiftprobenteller 25,4 mm Ø

228,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
688-1S Pelcotec LMS-20T, auf NIST rückführbar, montiert auf Mikroskop-Objektträger

228,00 € *

 
 
 

Pelcotec™ Standard LMS-C

für niedrige Vergrößerungen, vollständig individuell zertifizierte Version auf NIST rückführbar

Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
688-11 LMS-20C, individuell zertifizierte Version auf NIST rückf., unmontiert

819,00 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
688-11G LMS-20C, individuell zertifizierte Version auf NIST rückf., auf gestelltem Probenträger

939,10 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
688-11L LMS-20C, individuell zertifizierte Version auf NIST rückf., auf Hitachi Probenträger (M4), 25 mm Ø x

837,20 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
688-11O LMS-20C, individuell zertifizierte Version auf NIST rückf., montiert auf Cambridge S4-Probenträger

837,20 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
688-11R LMS-20C, individuell zertifizierte Version auf NIST rückf., montiert auf großem Stiftprobenteller 2

837,20 € *

 
 
 
Artikelnummer Artikelbezeichnung Preis Bild Anzahl
688-11S LMS-20C, individuell zertifizierte Version auf NIST rückf., montiert auf Mikroskop-Objektträger

837,20 € *

 
 
 
 
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