Universal-Testobjekt Zinn auf Kohle, Teilchengröße < 5 nm - 30 µm

Auflösungs-Testobjekt Zinn auf Kohle, Teilchengröße 10 nm - 100 nm

Auflösungs-Testobjekt für LowKV, Zinn auf Kohle, Teilchengröße < 20 nm - 400 nm

Hochauflösung - Gold auf Kohle, Teilchengröße 5 nm - 150 nm

Zur Bestimmung der Auflösung wurde ein neues Format des anerkannten Gold-auf-Kohle-Tests entwickelt. Das Testobjekt ist sowohl für die Betrachtung im Sekundärelektronen- als auch im Rückstreuelektronenmodus geeignet und ist weiterhin für das „Mapping“ in Hochauflösungssystemen, wie dem Auger-Raster, einsetzbar. Das Testobjekt besitzt ein quadratisches Netzchenmuster, mit großen Kristallen im Zentrum jedes Netzchen-Quadrates und sehr feinen Kristallen an den Rändern jedes Netzchens (vgl. Foto). Somit läßt sich mit demselben Testobjekt die Auflösung mit mittleren und kleinen Zwischenräumen überprüfen. Zusätzlich zeigen die größeren Kristalle Facetten, die die Feststellung der Grauwertwiedergabe bei hoher Auflösung erlauben.

Mit Goldteilchen < 30 nm bis 300 nm für LowKV-Arbeiten

Höchstauflösung - Gold auf Kohle, Teilchengröße < 3 nm - 50 nm

Dieses Testobjekt besitzt im Vergleich zu S168 kleinere Teilchen in den Goldinseln und eignet sich daher für Messungen oberhalb x50.000. Die Teilchengröße liegt zwischen < 2 nm und 30 nm.

Ultra-Auflösungs-Testobjekt, Gold auf Kohle, Teilchengröße < 2 nm – 30 nm

Auflösungstestobjekte auf alternativen Substraten

AuSome™ Nano-Goldpartikel 38 nm und 27,3 nm als Hochauflösungstestobjekt

Diese Nano-Gold-Partikel mit bekannter Größe und Uniformität (Standardabweichung: 38 nm ± 4 nm, 27,3 nm ± 6,3 nm), befinden sich auf einem Siliziumsubstrat mit 5 mm x 5 mm Größe.

Goldpartikel AuSome™ 117,3 nm und 27,3 nm als Dual-Hochauflösungs – und Kalibriertestobjekt

Auf diesem AuSome™ Dual-Hochauflösungs – und Kalibriertestobjekt befinden sich 2 definierte Größen von Goldpartikeln. 117,3 nm (Standardabweichung 8,4 nm) und 27,3 nm (Standardabweichung 6,3 nm). AuSome™ bietet einen angestrebten Monolayer von Goldpartikeln mit möglichst gleichförmigen Abständen der Partikel untereinander.

Auflösungstestobjekte auf alternativen Substraten : Zinn auf Si / Gold auf Si

Mittlere Auflösung - Aluminium-Wolfram-Dendriten

Die unterschiedlichen, durch die Dendritenstruktur bedingten Abstände erlauben den Abstandstest, die topografische Anordnung der Dendriten dient der Kontrastprüfung. Das Testobjekt ist unmagnetisch, vakuumfest, elektronenstrahlkompatibel und bedarf keiner Beschichtung. Es ist besonders geeignet für den Auflösungsbereich von 25 nm bis 75 nm. Es lässt sich mit Leitsilber oder Leit-C leicht auf jedem Probenteller anbringen.

PELCO-Prickly-Gold (Astigmatismus)

Dieses Testobjekt besteht aus 1000 mesh „Prickly-Gold“, das auf einem Probenteller montiert ist. Es eignet sich hervorragend zur Korrektur des Astigmatismus.

Universal-Kalibrierstandard für REM-EDX

In Rasterelektronenmikroskopen mit energiedispersiven Röntgenanalysesystemen müssen die Vergrößerung, die Auflösung, der Primärstrom, die Lage der EDX-Spektren und die Qualität des Rückstreuelektronendetektors überprüft werden. Dafür gibt es die in diesem Kapitel beschriebenen einzelnen Testobjekte. In dem REM-Kalibrierblock (S1919) sind diese Testobjekte auf einer Messingscheibe von 32 mm Durchmesser und 5 mm Höhe zusammengefasst. Vom Anwender werden 6 Einzelstandards ausgewählt (aus der Standardliste der Firma Micro Analysis Consultants MAC in der Rubrik "Standards für die Mikroanalyse"), die in diesen Block zusätzlich eingesetzt werden.

Weiterhin gibt es die Möglichkeit eine Variante bestückt mit 7 festgelegten Standards (Mn, Cr, C, Ni, PTFE, Co, AISI 316), einem PLANOTEC Silizium-Testobjekt und einem Faraday-Käfig zu wählen (S1919-7S). Co = Traceable to NIST, AISI 316 = CRM Stainless Steel.

Referenzobjekte für Rückstreuelektronen-Detektorsysteme

Ein Elektronenmikroskop, das mit einem Rückstreuelektronen-Detektor ausgestattet ist, hat die Möglichkeit der Erzeugung von Bildern, auf welchen der Kontrast durch den Unterschied der Atomordnungszahl über die Probe bestimmt ist. Zur Überprüfung des Atomzahlkontrastes stehen jetzt drei Testobjekte zur Verfügung. Jedes davon besteht aus zwei hochreinen Elementen mit einem Unterschied der Atomzahl von Z = 1. Das Element mit der niedrigeren Atomzahl ist in Form eines Drahtes in das Element mit der höheren Atomzahl eingefügt. Diese Testobjekte sind einzeln gefasst in Hülsen von 3 mm oder 5 mm Durchmesser erhältlich oder als Teil eines Vielfachhalters.

DUPLEX-Referenzobjekt

Mit diesem Objekt läßt sich ein weiterer und sehr empfindlicher Atomzahl-Kontrast-Test durchführen. Es weist eine Legierung mit zwei größeren Kupfer/Zink-Phasen auf, die durch einen Atomzahl-Unterschied von 0,1 getrennt sind. Die auf dem Bild gezeigte helle Phase besitzt die Atomordnungszahl Z = 29,47, die dunkle Phase Z = 29,37. Die Aufnahme wurde mit einem Halbleiter-Rückstreuelektronendetektor gemacht.

Rückstreuelektronen-Kombistandard

Zur Beurteilung der Signale eines Rückstreuelektronendetektors werden Materialkombinationen mit bekannten Atomordnungszahlen benötigt. MAC bieten einen Standardhalter von 30 mm Durchmesser und 5 mm Höhe an, der folgende Materialien enthält:

•Messinglegierungen mit einem Atomordnungsunterschied von Z = 0,1.

• Elementreferenzen

   Aluminium (Z = 13) - Silizium (Z = 14)

   Nickel (Z = 28) - Kupfer (Z = 29)

   Palladium (Z = 46) - Silber (Z = 47)

   Platin (Z = 78) - Gold (Z = 79)

• Glaskohlenstoff

• Faradaykäfig

Testobjekte für die Transmissionselektronenmikroskopie

Die von Agar Scientific gefertigten Testobjekte sind weltweit für ihre Qualität und Verlässlichkeit bekannt. Sie werden nach einem optischen Prüfvorgang individuell im Elektronenmikroskop getestet. Ein Testobjekt wird ausgesondert, wenn es mehr als 5 % gebrochene Netzchenquadrate aufweist oder zu sehr verschmutzt ist bzw. unzureichende Bildqualität aufweist.